不同螯合剂对於超临界流体萃取光电产业中含铟废液-弘光科技大学.PDF

．弘光學報50 期． 不同螯合劑對於超臨界流體萃取光電產業中 含銦廢液影響之研究 1 1 2 1 周偉龍*�楊凱強�易光輝�張皓翰 1弘光科技大學工業安全衛生系暨職業安全與防災研究所 2弘光科技大學化妝品應用系 收到日期：96.2.13　��修訂日期：96.3.7　��接受日期：96.3.9 摘要 TFT 光電面板產業為國家兩兆雙星產業，但由於製程中會使用到大量的酸液及銦金屬，若能 加以回收酸液及銦金屬將成為很大的商機，因此本研究利用具有綠色化學特性的超臨界萃取技術 去除光電產業製程蝕刻廢液中之銦金屬，而螯合劑在超臨界萃取技術扮演著關鍵的角色，所以本 研究亦嘗試自行合成螯合劑來提高萃取率。內容主要分為有機合成與超臨界萃取蝕刻廢液中之銦 金屬兩部分；有機合成方面，以銦金屬和螯合劑乙醯丙酮Acetylacetone(acac)所結合形成的金屬 錯合物In(acac) 為反應起始物與選購的含 啶配位基(piperidine ；PySH)反應作為合成螯合劑先期 3 研究；根據合成結果，以含二硫代胺基的配位基與二硫化碳螯合得到螯合劑(C H (CO) NC(S)SH 3 6 2 、C H NC(S)SH) ，再將合成的螯合劑應用於超臨界萃取技術去除製程蝕刻廢液中之銦金屬。 5 10 經超臨界二氧化碳萃取製程蝕刻廢液中之銦金屬實驗結果與文獻使用的螯合劑比較結果為： C H (CO) NC(S)SH (90.8%) ＞PySH(85.4%) ＞TTA(75.4%) ＞TAA(70.3%) ＞C H NC(S)SH (69.3%) ＞ 3 6 2 5 10 acac(45.6%) 。 關鍵詞：超臨界流體萃取、銦、螯合劑、蝕刻廢液、銦錫氧化薄膜 *通訊作者 257 ．不同螯合劑對於超臨界流體萃取光電產業中含銦廢液影響之研究 ． 壹、前言 、電漿電視(PDP)及有機光激發顯示器(OLED) 近年來政府大力推動「兩兆雙星」的產 朝大型化發展之趨勢，ITO玻璃之大量生產及 業計畫，所謂的「兩兆」係指產值超過一兆 尺寸大型化將不可避免，所以使用的蝕刻酸液 元以上的半導體產業及彩色影像顯示器(以平 將大量成長及其銦金屬的使用量也將越來越多 面顯示器產業為重點) ，平面顯示器產業目前 ，若無法有效的處理，使廢液長期堆放，不僅 國內產業產值僅次於半導體產業，位居第二 可能對人體健康有所危害(Carolyn, 2002) ，更可 。被譽為國內『第二半導體產業』之光電面 能因此造成環境的負擔。 板產業，從最早敬業電子自美國引入TN-LCD 綠色化學技術被視為是未來二十一世紀的 技術，啟動台灣第一條TN-LCD液晶顯示器生 重要科技之一，且行政院公共工程委員會已明 產線開始，至1997年中華映管自日本三菱電機 確訂定未來發展重點，綠色環保技術及生態工 集團轉投資公司ADI獲取薄膜電晶體液晶顯示 程方法將為未來積極發展之重點產業。綠色化 器(Thin-Film Transistor Liquid-Crystal