针对MEMS的微介电液滴冲击冷却系统建模及其实施技术的分析研究.pdfVIP

摘 要 摘 要 随着电子元器件集成度的不断提高，微电子系统的热控制问题越来越严重， 成为急需解决的难题之一。本文在分析传统的冷却方法的基础上提出了基于 MEMS的微介电液滴冲击系统，并对该系统的建模及其实施技术开展研究。 本论文主要研究内容如下： l、冷却系统的研究。提出一种压电微喷嘴，分析微液滴的产生过程、微液 滴冲击固体表面的模式以及冲击液滴与热表面热传导过程，冲击液滴的泡状沸腾 换热，影响换热系数的因素以及冷却剂的选择。 2、微机电系统MEMS器件的建模基础。介绍了微机电系统MEMS的建模 层级，提出了集总参数建模方法、节点分析法和行为建模语言VHDL．AMS三种 MEMS建模方法，重点讨论了MEMS多物理耦合场的建模分析。 3、动力系统的研究。提出了静电无阀微泵的设计方案，建立了微泵膜片的 有限元模型，采用直接耦合法模拟分析了微泵膜片在静电驱动下产生的形变和由 此引起的微泵腔体体积的变化，得出了膜片厚度、半径、电极间隙和驱动电压对 微泵腔体体积变化的影响。微泵膜片的动态特性与微泵的工作效率密切相关，本 文得出了膜片振动的固有频率与膜片厚度之间的关系，并进行了模态分析、谐响 应分析、瞬态动力学分析。微泵的流量和压力是微泵的重要工作参数，应用有限 元流固耦合分析对流体进行模拟，并模拟出流量随时间的变化情况，从而较为全 面的认识了微泵系统的流体特性。 4、设计了微液滴冲击冷却系统实验结构，从所需测量数据及观察现象入手 设计实验平台的辅助设备，从一个控制系统的构成入手设计了实验平台的控制系 统，并拟定实验方案，包括开放系统单向传热的实验方案和封闭式系统的两相传 热实验方案。 关键字：微机电系统；静电微型泵；有限元分析；微液滴；冲击冷却 摘 要 Abstract Withthe ofelectronic ofmicro-electronics increasingintegration opponents，heat—control is moreandmoreserious。Itis to solution。Onthebasisof systemsbecoming necessaryurgent traditional new microdielectric methods，a analyzing chipcooling coolingapproach-一the droplet basedonMEMS(MicroElectroMechanical impingementcoolingsystem Systems)—-··is presented inthisthesis．Modelandrelated arealsostudied． building techniques Themainresearchcontentsareasfollowing： A is to the of 1．Coolingsystem：micro-dropletsgeneratorpresentedanalyzeemergence collisionmoduleof onsolid between faceandheattransfer micro-droplets，the micro-droplets