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“纳米制造的基础研究”重大研究计划研究进展 research review of the nsfc major research plan “fundamental research on nanomanufacturing”
第 52 卷第 5 期 机 械 工 程 学 报 Vol.52 No.5
2016 年 3 月 JOURNAL OF MECHANICAL ENGINEERING Mar. 2016
DOI ：10.3901/JME.2016.05.068
*
“纳米制造的基础研究”重大研究计划研究进展
1 2 1, 3 1
王国彪 邵金友 宋建丽 赖一楠
(1. 国家自然科学基金委员会工程与材料科学部 北京 100085 ；
2. 西安交通大学机械工程学院 西安 710049 ；
3. 北京信息科技大学仪器科学与光电工程学院 北京 100192)
摘要：国家自然科学基金委员会( National Natural Science Foundation of China, NSFC)重大研究计划“纳米制造的基础研究”
瞄准学科发展前沿、面向国家发展的重大战略需求，旨在针对纳米精度制造、纳米尺度制造和跨尺度制造中的基础科学问题，
探索纳米制造过程的基本规律，发展若干原创性的纳米制造工艺与装备原理，为实现纳米制造的一致性与批量化提供理论基
础。介绍“纳米制造的基础研究”重大研究计划实施 6 年来的申请、资助情况和实施过程中采取的管理举措；回顾该重大研
究计划在学科交叉融合、国内重大科研仪器与基础试验技能共享等方面获得的显著成效；总结项目研究团队在光学自由曲面
抛光、晶圆平坦化与减薄、纳米切削、电场辅助纳米压印光刻、超快激光加工和半导体器件制造等方面取得的原创性成果和
突出进展；同时，简要介绍了依托这些成果立项的 4 个集成项目的基本情况。
关键词：纳米制造；重大研究计划；管理举措；研究进展
中图分类号：TG161 ；TN05
Research Review of the NSFC Major Research Plan “Fundamental
Research on Nanomanufacturing”
WANG Guobiao 1 SHAO Jinyou 2 SONG Jianli 1, 3 LAI Yinan 1
(1. Department of Engineering and Materials Sciences, National Natural Science Foundation of China,
Beijing 100085;
2. School of Mechanical Engineering, Xi’an Jiaotong University, Xi’an 710049;
3. School of Instrument Science and Opto-Electronics Engineering, Beijing Information Science and Technology
University, Beijing 100192)
Abstract ：National Natural Science Foundation of China major research plan “Fundamental Research on Nanomanufacturin
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