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hasthebroad ofsiliconthinfilmsolarcellsis than
place prospect.Thepreparationtechnology simpler
thatof siliconsolarcells.Thelow andthelow
crystal temperature costofsubstratematerial
deposition
makethelowcostofsilicon onthesiliconthinfilm
thinfilmsolarcells.So solarcellsishot
study spot.
Inthis focusonthesiliconthinfilmsolarcells.Theconsistsoftwo
paper,we paper parts.First,the
siliconthinfilmanda—Si:HthinfilmsolarcellhavebeenfabricatedPECVD.Anotheristhat
by part
AMPS一1 ofMicroelectronicandPhotonic
D(Analysis Structures)programdevelopedbyPennsylvania
state hasbeencarriedouttosimulatethe of siliconsolarcells.
university performancesmicrocrystalline
Thesiliconthinfilmswere ondifferentsubstrates substrateandsilicon
deposited includingquartz
substratePECVD.TransmissionRaman andFouriertransforminfrared
by spectra、Thespectroscopy
ofthefilmsweretested.Therelationbetween conditionandthe
(FTIR)spectra deposition disposition
was
and ofthesiliconthinfilms flowrateof andthe
speedopticalbandgap analyzed.The Sill4 deposition
arethemostcriticalfactors Sithinfilm.Theflowrateof a role
H2
gaspressure to乓of playssecondary
Theeffectsofthe
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