10、第十章 扫描电子显微分析与电子探针-1.ppt

材料现代分析方法 材料化工学院 扫描电子显微镜 扫描电子显微镜(SEM)特点: ◆ 1965年第一台商用SEM问世; ◆ 能弥补透射电镜样品制备要求很高的缺点; ◆ 景深大; ◆ 放大倍数连续调节范围大; ◆ 分辨本领比较高； ◆ 样品制备非常方便; ◆ 可直接观察大块试样; ◆ 固体材料样品表面和界面分析; ◆ 适合于观察比较粗糙的表面,材料断口和显微组织三维形态; 第十章 扫描电子显微分析与电子探针 §10.1 扫描电子显微镜工作原理及构造 §10.2 像衬原理与应用 §10.3 电子探针x射线显微分析 §10.1 扫描电子显微镜工作原理及构造 电子与固体作用产生的信号 IR →背散射电子流; IS →二次电子流; IX →x射线辐射强度; IA →样品吸收电子; IT →透射电子流; §10.1 扫描电子显微镜工作原理及构造 一、工作原理 电子枪 →电子 →电场加速 →电磁透镜作用 →极细电子束 →双偏转线圈作用 →扫描样品表面 →产生各种物理信号 →信号收集检测 →转换成视频信号 →视频信号放大和处理 →调制阴极射线管的电子束强度 →样品表面特征的扫描图像 §10.1 扫描电子显微镜工作原理及构造 二、构造与主要性能 电子光学系统(镜筒)、 偏转系统、 信号检测放大系统、 图像显示和记录系统、 电源系统、 真空系统等. §10.1 扫描电子显微镜工作原理及构造 1．电子光学系统 组成： 电子枪、电磁聚光镜、光栏、样品室等。 作用： 获得扫描电子束， 激发样品产生各种物理信号。 扫描电子束： 具有较高的亮度和小的束斑直径． 通过电子枪和电磁聚光镜得到。 样品和标样： 存放在样品室中。 §10.1 扫描电子显微镜工作原理及构造 2 ．偏转系统 使电子束产生横向偏转， 包括用于形成光栅状扫描的扫描系统， 以及使样品上的电子束间断性消隐或截断的偏转系统． §10.1 扫描电子显微镜工作原理及构造 3．信号检测放大系统 收集(探测)样品在入射电子束作用下产生的各种物理信号，并进行放大． §10.1 扫描电子显微镜工作原理及构造 4．图像显示和记录系统 将信号检测放大系统输出的调制信号, 转换为能显示在阴极射线管荧光屏上的图像， 供观察或记录． §10.1 扫描电子显微镜工作原理及构造 5．电源系统 为扫描电子显做镜各部分提供所需的电源， 由稳压、稳流及相应的安全保护电路组成 6．真空系统 确保电子光学系统正常工作、防止样品污染、保证灯丝的工作寿命等 。 §10.1 扫描电子显微镜工作原理及构造 扫描电子显微镜的主要性能： (1)放大倍数 从20倍到20万倍连续调节． 介于光学显微镜和透射电镜之间。 (2)分辨率 通常通过测量图像上两亮点(区)之间的最小暗间隙宽度， 然后除以总放大倍数， 即可得出扫描电子显微镜的极限分辨率． SEM的分辨本领与以下因素有关： 入射电子束束斑直径 入射束在样品中的扩展效应 还有信噪比、杂散电磁场和机械震动等 §10.1 扫描电子显微镜工作原理及构造 (3)景深 景深很大，成像富有立体感。 与扫描电子束发散角(β)及扫描像分辨率(d0)的关系为: Ff ＝ d0/tanβ≈ d0 /β §10.1 扫描电子显微镜工作原理及构造 §10.2 像衬原理与应用 一、像衬原理 高能电子 →固体样品 →发生弹性或非弹性散射 →产生各种强度物理信号 （背散射电子、二次电子、吸收电子、俄歇电子等） →荧光屏上不同的区域，出现不同的亮度 →获得具有一定衬度的图像． 像的衬度： 像的各部分(即各像元)强度相对于其平均强度的变化． §10.2 像衬原理与应用 能量只有几个eV，容易被检测到。 (2)入射电子的能量 达到一定值，δ不为零； δ达到最大值后，入射电子能量再增大， δ不再增加，反而会下降． (3)材料的原子序数 随Z的增大， δ略有增加； (4)样品倾斜角θ δ∝ (secθ)n §10.2 像衬原理与应用 二次电子像的衬度可以分为以下几类像衬原理: (1)形貌衬度