原创力文档基于fluent软件直流电弧等离子体喷射法等离子体放电特征二维数值模拟 numerical simulation of plasma discharge properties in dc arc plasma jet.pdfVIP
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基于fluent软件直流电弧等离子体喷射法等离子体放电特征二维数值模拟 numerical simulation of plasma discharge properties in dc arc plasma jet
真 空 科 学 与 技 术 学 报 第３６卷 第３期
３１２ ＣＨＩＮＥＳＥ ＪＯＵＲＮＡＬ ＯＦ ＶＡＣＵＵＭＳＣＩＥＮＣＥ ＡＮＤ ＴＥＣＨＮＯＬＯＧＹ ２０１６ 年３ 月
基于ＦＬＵＥＮＴ软件直流电弧等离子体喷射法
等离子体放电特征二维数值模拟
郭建超 刘金龙 闫雄伯 化称意 赵 云 陈良贤 魏俊俊 李成明*
（北京科技大学 新材料技术研究院 北京 １０００８３）
Ｎｕｍｅｒｉｃａｌ Ｓｉｍｕｌａｔｉｏｎ ｏｆＰｌａｓｍａ Ｄｉｓｃｈａｒｇｅ Ｐｒｏｐｅｒｔｉｅｓ ｉｎ ＤＣＡｒｃ Ｐｌａｓｍａ Ｊｅｔ
Ｇｕｏ Ｊｉａｎｃｈａｏ，Ｌｉｕ Ｊｉｎｇｌｏｎｇ，Ｙａｎ Ｘｉｏｎｇｂｏ，Ｈｕａ Ｃｈｅｎｙｉ，Ｚｈａｏ Ｙｕｎ，Ｃｈｅｎ Ｌｉａｎｇｘｉａｎ，Ｗｅｉ Ｊｕｎｊｕｎ，Ｌｉ Ｃｈｅｎｇｍｉｎｇ*
（ＩｎｓｔｉｔｕｔｅｆｏｒＡｄｖａｎｃｅｄＭａｔｅｒｉａlｓ ａｎｄ Ｔｅｃｈｎｏlｏｇｙ，ＵｎｉｖｅｒｓｉｔｙｏｆＳｃｉｅｎｃｅ ａｎｄ ＴｅｃｈｎｏlｏｇｙＢｅｉｊｉｎｇ，Ｂｅｉｊｉｎｇ １０００８３，Ｃｈｉｎａ）
Ａｂｓｔｒａｃｔ Ｔｈｅ ｃｈａｒａｃｔｅｒｉｓｔｉｃｓ ｏｆｔｈｅ ＤＣ ａｒｇｏｎ ａｒｃ ｐｌａｓｍａ ｄｉｓｃｈａｒｇｅｊｅｔ，ｕｓｅｄ ｉｎ ｄｉａｍｏｎｄ ｆｉｌｍ ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ，ｗｅｒｅ
ｅｍｐｉｒｉｃａｌｌｙ ａｐｐｒｏｘｉｍａｔｅｄ，ｍａｔｈｅｍａｔｉｃａｌｌｙ ｆｏｒｍｕｌａｔｅｄ ｗｉｔｈ２-Ｄ ｍｏｄｅｌ，ｎｕｍｅｒｉｃａｌｌｙ ｓｉｍｕｌａｔｅｄ ｗｉｔｈ ｔｈｅ ｓｅｌｆ-ｄｅｖｅｌｏｐｅｄ
ｐｒｏｇｒａｍ ｂｙ ａｄｄｉｎｇ ａｎ ｅｌｅｃｔｒｏｍａｇｎｅｔｉｃ ｓｏｕｒｃｅ ｔｏ ｔｈｅ ｃｏｎｓｅｒｖａｔｉｏｎ ｅｑｕａｔｉｏｎｓｏｆｓｏｆｔｗａｒｅ ＦＬＵＥＮＴ，ａｎｄ ｅｘｐｅｒｉｍｅｎｔａｌｌｙ
ｅｖａｌｕａｔｅｄ．Ｔｈｅ ｉｎｆｌｕｅｎｃｅ ｏｆｔｈｅ Ａｒ-ｐｒｅｓｓｕｒｅ ａｎｄ ｄｉｓｃｈａｒｇｅ ｃｕｕｒｅｎｔ ｏｎ ｔｈｅｊｅｔ ｂｅｈａｖｉｏｒ，ｉｎｃｌｕｄｉｎｇ ｔｈｅ ｄｉｓｔｒｉｂｕｔｉｏｎｓｏｆ
ｔｅｍｐｅｒｓａｔｕｒｅ，ｅｌｅｃｔｒｉｃ ｃｕｒｒｅｎｔ ｄｅｎｓｉｔｙ，ｖｅｌｏｃｉｔｙ ａｎｄ Ｊｏｕｌｅ ｈｅａｔ ｏｆｔｈｅ ａｒｃ ｐｌａｓｍａ，ｗａｓ ｉｎｖｅｓｔｉｇａｔｅｄ．Ｔｈｅ ｓｉｍｕｌａｔｅｄ ｒｅ-
ｓｕｌｔｓ ｓｈｏｗ ｔｈａｔ ａｔ １０００ Ｐａ ａｎｄ １００ Ａ，ｔｈｅ ｈｉｇｈｅｓｔ ｔｅｍｐｅｒａｔｕｒｅ （１１０００ Ｋ）ａｎｄ ｖｅｌｏｃｉｔｙ （３４０ ｍ／ｓ）ｌｏｃａｔｅ ａｒｏｕｎｄ
ｔｈｅ ｃａｔｈｏｄｅ ｔｉｐ，ａｎｄ ｔｈａｔ ｔｈｅ ｓｔｒｏｎｇ ｏｕｔｂｏａｒｄ-ｆｌｏｗｆｏｃｕｓｅｓｔｈｅ ａｎｏｄｅ ｓｐｏｔ ａｔ ｉｔｓｂｏｔｔｏｍ ｉｎｎｅｒｅｄｇｅ，ｗｈｅｒｅ ｔｈｅ ｐｌａｓｍａ
ｔｅｍｐｅｒａｔｕｒｅ ｉｓａｂｏｕｔ９０００ Ｋ．ＴｈｅＪｏｕｌｅ ｈｅａｔ ｄｉｓｔｒｉｂｕｔｉｏｎ ａｎｄ ｐｌａｓｍａｊｅｔｉｒｒａｄｉａｔｉｏｎ ｒｅｓｕｌｔｉｎ ａ ｓｔａｂｌｅ ｐｌａｓｍａｔｅｍｐｅｒ-
ｔｕｒｅ ｉｎ ３０００ ～４０００ Ｋｒａｎｇｅ ａｂｏｖｅｔｈｅ ｇｒａｐｈｉｔｅ ｓｕｂｓｔｒａｔｅ ｓｕｒｆａｃｅｓ．Ｔｈｅ ｓｉｍｕｌａｔｅｄ ａｎｄ ｍｅａｓｕｒｅｄｒｅｓｕｌｔｓｗｅｒｅ ｉｎ ｇｏｏｄ
ｇｒｅｅｍｅｎｔ．
Ｋｅｙｗｏｒｄｓ ＤＣ ａｒｃ ｐｌａｓｍａｊｅｔ，Ｎｕｍｅｒｉｃａｌ ｓｉｍｕｌａｔｉｏｎ，Ｐｌａｓｍａ ｄｉｓｃｈａｒｇｅ，ＦＬＵＥＮＴ
摘要 直流电弧等离子体喷射法制备金刚石膜的过程中氩气主要起维持电弧放电作用，在一定程度上保证电弧放电的
稳定性。本文利用自定义标量和自定义函数技术对 ＦＬＵＥＮＴ软件进行二次开发，在动量和能量守恒方程中添加相应电磁源
项。对纯氩直流电弧等离子放电特征进行二维数值模拟，并经过实验验证后最终得到等离子体放电区域的温度、焦耳热、电
流密度和速度等分布。模拟结果表明气压为１０００ Ｐａ工作电流为１００ Ａ条件下：氩等离子体最高温度和最大速度达到１１０００
Ｋ和３４０ ｍ／ｓ，且均出现在阴极尖端位置附近；较强的外侧气流使阳极斑点稳定维持在阳极内侧下边缘位置，其附近等离子体
温度在９０００ Ｋ左
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