剖析CMX.pdfVIP

特长 精度、规格 型号 工作原理 尺寸图 电机 特殊对应 经 Precision stage series 济 系 列 精密工作台系列 紧 凑 系 列 通 用 系 CMX 列 超 级 定位台 F 系 A 列 无 尘 系 列 X Y 控 制 器 系 列 直 线 顶台 电 机 系 列 精 密 工 作 台 系 列 底座 交叉滚柱轴环 电机 型 单体二维运动 滚动导轨 LM 号 滚珠丝杠 模块 A/AX CMX 构造 DX EX 特长 采用创新型模块化构造的超薄型工作台（已获得专利） CMX 将组合了单体二维运动 滚动导轨 和交叉滚柱轴环 的模块平面配置于底座和顶台间的四角，实现了超薄型 LM CS R RU CHX 构造。 1对应大型工件 3 中空构造 顶台尺寸最大可达 × 的大型工作台 顶台和底座的中央部留有很大的空间，可作为光学式 1500mm 1500mm 实现了标准化。通过配置所需数量的模块，还可满足 检查装置及导通测试仪的使用场所。 更大型化的需求。 4 高刚性、高精度 2超薄型、轻量 通过对构成模块的单体二维运动 滚动导轨和交叉 LM 采用XY θ模块，实现了无滑座的超薄轻量机构。 滚柱轴环施加预压，实现了高精度、高刚性的构造。 主要用途 ● 制造装置、检查装置 ●印刷电路板制造装置、检查装置 FPD ●半导体制造装置、检查装置 ●太阳能电池制造装置、检查装置 ●丝网印刷机、掩模检查装置 511 CMX 特长 精度、规格 型号 工作原理 尺寸图 电机 特殊对应 经 济 系 型号构成 列