加速器一电子显微镜联机进行材料科学研究的新进展.PDF

第 2O卷 第 3期 原 子 核 物 理 评 论 VO1．20。No．3 2003年 9月 NuclearPhysicsReview Sep．，2003 文章编号 ：1o07—4627(2003)03--0201--07 加速器一电子显微镜联机进行材料科学研究的新进展 蒋 昌忠，任 峰，张 丽，石 瑛 ，范湘军 (武汉大学物理科学与技术学院，湖北 武汉 430072) 摘 要：离子或电子辐照引起的材料微结构演变是一个非常复杂的过程．用加速器一电子显微镜联 机装置可原位观察载能离子束辐照及辐照后退火引起的材料微结构演变，并确定相应的辐照条件． 介绍了近 1O年来 国际上利用加速器一电子显微镜联机装置开展材料科学研究的最新进展． 关 键 词 ：原位观察 ；电子显微镜 ；辐照效应；微结构演变 中图分类号 ：0572．2；TGll5．21+5．3 文献标识码 ：A 1 引言 用．近几年来 ，离子束技术 已成为一种形成纳米结 构的有效方法．用高能离子束辐照金属 、合金 、陶 载能离子束技术 已被广泛应用于材料科学、生 瓷和半导体材料可获得纳米 晶体材料 ，通过精确地 命科学和化学等众多研究领域 ．离子辐照会引起材 控制实验条件 ，可 以使非 晶基体 中出现纳米 晶体结 料成分、原子环境、电子组态及相结构的变化，从 构 ，或使晶体材料转变为完全 的纳米 晶体材料．辐 而导致材料性能的改变．因此离子束技术是研究和 获取高性能材料和器件的好方法 ，特别是对半导体 照导致 的纳米晶体可 以是基体材料 中的原始相 ，也 器件及大规模集成 电路的发展起到了极大的推动作 可以是不同成分的结晶相． 表 1 国际上加速器一电子显微镜联机装置一览表 牧稿 日期t2003 ·01—15；修改 日期 ：2003．07．08 · 基金项 目：国家 自然科学基金资助项 目10275049) 作者简介 ；蒋 昌忠 (1962一)，男 (汉族)，湖北公安县人，教授 ，博士 ，从事材料的离子束合成与改性研究 原 子 核 物 理 评 论 第20卷 离子束和固体相互作用过程是十分复杂的．注 似于多边形 的微结构 ．根据位错环 的生长行为的观 入元素、能量 、剂量 以及基体材料的温度、退火温 察 ，在绝大多数高剂量离子辐照金属 的情况下 ，高 度和时间等众多因素 的变化都会造成注入后材料性 剂量注入区形成的位错环都是间隙型位错环 ，这是 能的差异．不同条件下的离子注入会导致 晶格缺陷 因为间隙原子在金属材料 中有很高 的运动性[1．注 的产生和聚集、位移混合、辐射增强扩散、辐射诱 入原子捕获空位使点缺陷的运动性降低 ，从而使高 发偏析和择优溅射等现象的出现．同时，离子注入 密度间隙原子聚集在 PKA周 围形成位错环[1¨．重 纳米相 的形成 、级联位移 的发展和辐照导致缺 陷的 离子注入形成间隙位错环生长速度较慢 【l． 位移等与辐照引起分解 的积累密切相关．因此 ，一 当PKA 的能量较小时，PKA 留下 的空位和 间 种能原位动态观测在不同辐照条件下样 品微观结构 隙原子形成一对空位一间隙原子缺 陷，即 Frenkel缺 变化及相变过程 的实验装