原创力文档- 1、原创力文档（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。。
- 2、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击 这里二次下载。
- 3、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
还原氧化石墨烯_Au复合微电极阵列的制备及光电特性_季津海
Vol． 37 高等学校化学学报 No． 10
2016 10 CHEMICAL JOUＲNAL OF CHINESE UNIVEＲSITIES 1826 ～ 1832
年 月
doi :10． 7503 /cjc
还原氧化石墨烯/Au 复合微电极阵列的
制备及光电特性
， ， ，
季津海 闻雪梅 陈 洋 毕宴钢
( ， 130021)
吉林大学电子科学与工程学院 长春
- ，
摘要 利用双光束干涉 无掩模光刻技术制备了周期性氧化石墨烯微结构阵列 利用肼蒸气对氧化石墨烯脱
， Au /Au (Ｒ-GO /Au)．
氧还原 然后蒸镀超薄 薄膜制备了还原氧化石墨烯 复合微电极阵列 对复合电极在可见
， ，Ｒ-GO /Au ．
光波段的透过率和表面电阻进行了表征 结果表明 复合微电极阵列具有良好的光电特性 将
Ｒ-GO /Au ， 3. 43% ．
复合微电极阵列引入到有机太阳电池中作为半透明阳极 器件的光电转化效率可达
/Au ; ; - ;
关键词 还原氧化石墨烯 复合电极 微电极阵列 双光束干涉 无掩模光刻技术 肼蒸气还原
中图分类号 O646 文献标志码 A
基 、3D 、
于微电极阵列的微器件在高分辨微显示 显示 传感器及生物医学等领域有着非常广泛的应
［1 ～ 3］
， ．
用 制备周期性透明微电极阵列是其关键技术之一 基于掩膜版的制备工艺由于针对不同的微电
［4 ，5］
， ， ． ，
极需要制作大量的掩膜版 成本高 灵活性差 基于刻蚀技术的制备工艺 例如干法刻蚀和湿法刻
， ， ， ，
蚀 虽然已实现微电极的制备 但是加工设备昂贵 分辨率通常较低 并且常用的金属电极材料及铟
锡氧化物(ITO)等不易被有效刻蚀［6 ～ 10］． 近年来新发展起来的飞秒激光直写技术(FsLDW)可以实现高
［11 ～ 13］
，
文档评论（0）