丝网印刷XY-Theta并联平台的定位精度分析及标定.pdfVIP

华南理工大学学报(自然科学版) 第40卷第11期 JoumalofSouthChina of V01．40No．11 UniVersityTechn0109y Science November2012 2012年11月 (Natural Edition) 丝网印刷xY—Theta并联平台的定位精度分析及标定冰 梁经伦 张宪民 莫景会 (华南理工大学广东省精密装备与制造技术重点实验室，广东广州510640) 摘要：针对一种特殊的用于丝网印刷的平面三自由度并联对位平台，提出了一种改进 的误差建模和运动学标定方法．首先，利用平面对位机构的特点，结合矢量法和解析法，构 造出动平台位置、姿态误差与几何误差之间的映射关系，得到了误差雅克比矩阵．然后，通 过灵敏度分析，评估了各个几何误差源对终端位姿误差的影响．接着，通过辨识性分析，确 定了标定几何误差源，随机选取多个位形建立误差辨识矩阵来对几何参数误差进行辨识． Matlab仿真结果显示，辨识值与设定值间的误差小于5％．最后，利用双频激光干涉仪、千 分表等测量工具进行运动学标定实验，结果初步验证了标定方法的有效性和实用性． 关键词：xY—T11eta并联平台；姿态误差；误差建模；敏感性分析；运动学标定 113．2 中图分类号：TH 丝网印刷因具有简单、可靠、低成本等特点而被 角度误差的影响；Alenander等一1提出了一种几何 广泛应用于晶硅太阳能电池的大批量生产中¨。2一． 法，分析了一类平面并联机构输入精度与机构终端 随着生产工艺的技术革新，晶硅太阳能电池金属化 精度之间的关系；高猛等。10。…针对一种平面三自由 度并联机床，研究了基于最小误差组合的分步标定 线越来越细(30¨m)，特别是双次印刷¨1和选择性 发射极Ho工艺的出现，对精密丝网印刷设备的印刷 方法；何小妹等。1纠系统地总结了当前的并联机器人 精度提出了更高的要求． 的运动学标定过程和方法．上述学者针对各种平面 微制造等领域提出了许多提高平面定位精度的 并联机构提出了多种精度分析方法，其中基于矢量 解决方案∞4J，但大多采用机械杆件柔性变形的方 闭环的儿何误差建模方法得到了广泛的应用． 法，不能满足平版印刷的工作空间要求，因此在工业 文中以一台丝网印刷设备为研究对象，对其核 心调整机构——一种特殊的平面三自由度并联对位 生产中鲜有应用．也有很多商业公司(如Newpon、 平台进行误差建模、灵敏度分析和运动学标定研究． Rockwell、PI等公司)提供平面三自由度宏动精密定 位平台，即xY—Theta对位平台．但几乎所有的对位平该机构是一种平面对位机构，通常以终端平面的平 台都是典型的“三明治”串联结构．这种串联结构易于 移量和转动量为并联平台的输入，导致基于矢量闭 控制，但由于底层平台需要支撑厚重的上层结构，导 环的几何误差建模方法难以实现．文中针对平面对 致这种串联结构体积和重量相对较大、终端响应较 位机构的特点，首先提出了一种矢量法与解析法结 慢．近年来，平面并联机构越来越受到关注。91，因 合的误差建模方法，得到了该机构的几何参数误差 此平面并联机器人精度和运动学标定也得到了广泛 模型；其次，通过终端位姿误差对各误差源的灵敏度 的研究．sebastien等旧。详细地分析了输人精度对三分析，评估了各误差源的影响；最后通过数学仿真和 自由度(3．DOF)平面并联机构终端局部最大位置和简单而有效的实验，验证了该平面