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2017-10-01 发布于北京
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压电驱动微定位工作台的建模.pdf

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压电驱动微定位工作台的建模.pdf

第32卷第2期压电与声光 VoI．32No．2 2010年4月 PIEZOEI。ECTRICSACoUST00PTICS Apr．2010 文章编号：1004—2474(2010)02—0247—04 压电驱动微定位工作台的建模魏强h2，胡承忠1，张栋2，张玉林2 (1．泰山学院物理与电子科学系。山东泰安271021；2．山东大学控制科学与工程学院。山东济南250061) 摘要：为提高压电陶瓷驱动的微定位工作台的模型精度，提出了一种基于动态递归神经网络的建模方法。压电陶瓷具有极高的位移分辨率，但存在着迟滞非线性。分析了压电陶瓷驱动器的结构和特性．利用动态神经网络的自反馈结构和自学习能力，建立起工作台的网络模型，通过在线调整模型结构和参数。减小了工作台的建模误差。测量工作台的定位数据对网络模型进行了训练，实验结果表明，当工作台最大行程为80肚m时，平均定位误差 0．07,um，最大误差0．09／zm，比采用静态网络模型有了一定的提高。关键词：纳米定位；精密工作台；压电驱动器；系统辨识；神经网络中图分类号：TH742lTPl83文献标识码：A of Driven ModelingMicro-positioningStage PZT by WEI Yulin2 Qian91”，HUChengzhon91，ZHANGDongz，ZHANG andElectronicScience，Taishan (1．Dept．ofPhysics University．Taian271021，Chinal 2．SchoolofControlScienceand 250061．China) Engineering，ShandongUniversity。Jinan orderto themodel of driven Abstract：Inimprove accuracymicro-positioningstage ceramics，a bypiezoelectric new methodbasedonthe recurrentneuralnetworkwas modeling dynamic proposed．The ceramicshad piezoelectric resolution，hutithadthe of and structureand ofthe superhigh propertyhystericsnonlinearity．Thecharacteristic were modelwasestablishedbasedontheself-feedbackand oftheDRNN．The stage analyzed．The self-learning errorof themodelw