附录四振镜高精度校正-上海费米激光科技有限公司.docVIP

FM-UVM3 紫外激光精密蚀刻系统 操 作 说 明 上海费米激光科技有限公司 服务电话: 021地址：上海市松江区申港路215号511 网址： 目录 前 言 4 警 告！ 5 电气安全 5 设备说明 6 组成部件说明 7 参数 8 操作指导 9 一．开机流程 9 二．关机流程 9 维护 10 注意事项： 10 简单故障处理： 10 附录一：振镜校验 11 附录二：二次定位加工 11 附录三：激光精密蚀刻软件通用操作指导 11 第1章 第一次使用 11 第2章 详细介绍 13 2.1 主界面 13 2.2 菜单栏 14 2.3 工具栏 17 2.4 绘图栏 21 2.5 操作区 22 2.6 标记参数栏 24 第3章 附录一 25 3.1 错误提示与排查 25 3.2 输入输出定义 26 第4章 视觉操作说明 26 附录四：振镜高精度校正 36 附录五：打标软件说明书 37  前 言 欢迎使用上海费米激光科技有限公司生产的，使用前请务必仔细阅读本手册。 激光，全称为受激辐射光放大，英文全称为Light Amplification by Stimulate Emission of Radiation,简称为Laser。它是一种新光源，其所具有的相干性、单色性、方向性与高输出功率等特点，是其它光源所无法比拟的。 2. 通过进口精密振镜高速高精度控制光束偏移，实现小幅面高速精密加工； 3. 通过微米级高速直线电机平台平移实现大幅面微加工； 4. Z轴电动可调，方便对焦； 5. 旁轴超分辨率工业相机用于振镜全幅面误差校正，超高精度对焦以及零件二次加工定位； 6. 在线检测激光加工的效果，快速优化加工工艺； 7. 系统采用大理石台面，提升系统的综合稳定性，所有机械部件精心选配以保证长期精度； 8. 最小加工线宽5μm，整体加工精度±3微米，加工范围300*300mm。 紫外激光精密蚀刻系统是一种集光学、精密机械、激光技术、电子技术、计算机和控制技术于一体的高新技术产品。正确使用和维护此系统，对于更好的发挥其效能及延长寿命具有十分重要的意义。通过本手册您能对的工作原理有一个初步了解，按照所介绍的方法步骤对进行正确的使用和维护危险的激光辐射！ 该套设备采用封闭的激光光路设计，可以有效地防止激光辐射的泄漏。严禁用眼睛直视出射激光或反射激光，以防损伤眼睛对系统中电气设备进行的维护、调整必须由经过培训的对本系统各部分均熟悉的专业人员进行，以下几点特别注意： * 若设备不工作时、维护调整不需运行时，勿接通其电源 * 系统应有良好的接地，并应定期检查 * 尽可能用一只手操作电气设备，以防在人体上构成回路 * 本系统的安装，有一定的环境要求，参考地选择由专业技术人员决定。 设备 紫外激光精密蚀刻系统最小线宽5μm，用于金属、陶瓷、硅片、玻璃、有机物等材料大幅面微结构加工，实现盲孔、通孔、开槽、切割等。 应用范围： 半导体柔性电路板切割、ITO膜层蚀刻、微电子器件制造、印刷模板制备、生物芯片制备、精密模具成型。 组成部件说明 提拉门 带防护窗，加工时关闭 高倍CCD 旁轴800倍放大，用于观察加工效果和定位 光具座 激光器和光学组件 Z轴 行程200mm，升降光路，实现对焦 显示器 电脑和CCD图像显示 振镜 光束偏转扫描 远心场镜 F=114mm，激光聚焦 XY加工平台 直线电机位移平台，行程300*300mm，定位加工 按键 总电源、振镜、激光器、急停控制操作 大理石 000级大理石 11.电气系统 12.电脑和激光控制箱 电脑正面接头，激光器控制面板 13.水冷机 激光精密制冷，激光器开启时，务必保证水冷机正常运行。 参数 类别 参数 FM-UVM3 ? ? 激光器 波长 355nm 功率 ＞3W@30kHz 调制频率 10~200kHz 脉宽 18ns@30kHz 光束质量M2 ＜1.2 ? ? 振镜 扫描范围 ＜50*50mm 定位分辨率 0.7μm 重复精度 ＜1μm 定位精度 ≤±3μm 扫描速度 ≤3.5m/s 定位速度 ≤12m/s ? ? XY工作台 行程 300*300mm（可选） 定位分辨率 0.1μm 重复精度 ≤±1μm 定位精度 ≤±3μm 加速度 ≤1G 速度 ≤800mm/s ? Z轴 行程 50mm 重复