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薄 膜 技 术 授课教师： 许向东 电子科技大学光电信息学院 第一章 序 言 ●本章内容： 1. 薄膜的历史、定义 2. 薄膜的应用 3. 薄膜制备方法的分类、课程介绍 ●本章参考书： 1. 唐伟忠，薄膜材料制备原理、技术及应用（第二版），冶金工 业出版社，2003 2.陈光华，邓金祥，新型电子薄膜材料，化学工业出版社，2002 3. 王福贞等，气相沉积应用技术，机械工业出版社，2007 §1-1 薄膜的历史 ●公元105年，东汉蔡伦发明造纸术; ●7世纪，溶液镀银工艺； ●1000多年前，阿拉伯人发明了电镀; ●19世纪中叶，电解法、化学反应法、真空蒸镀法等， 标志着薄膜技术的逐步成熟，但应用面仍很窄； ●20世纪以来，特别是二战以后，随半导体技术的兴起， 涌现了以溅射法为代表的一大批新技术，在学术和 实际应用中取得丰硕成果； ●近年来，LB、Sol-Gel、ALD 、激光闪蒸法。 ●薄膜技术伴随着人类文明史；在科学技术发展、人们 日常生活中发挥重要作用；是化学、物理学、材料学、 半导体学等多学科交叉的学科。 §1-2 薄膜的定义 一、定义1 （狭义定义）： 真空 由单独的原子、离子、 原子 原子团无规则地入射到 基板表面，经表面迁 薄膜 徙、凝结、成核、核生 长等过程而形成的一薄 层固态物质。 基板 定义1的特点： ●强调了薄膜生长的机理与过程 ●仅仅适用于薄膜的气相生长方法，而不适用于液相法 ●强调了薄膜的生长必须依附基板 基板的特点： ●名称：衬底、基板、基片，Substrate，Wafer ●材料：金属、半导体、玻璃、陶瓷、塑料、纸张等 ●作用：支撑、绝缘等 二、定义2 （广义定义）： 夹在两个平行平面间的薄层 上平面：空气 固体膜、液体膜 下平面：固体表面、液体表面、空气 缺点： 不能区分薄膜、厚膜、涂层、金属箔、(分离)膜、层等概念。 thick film coating foil membrane 三、定义3 ： 采用特定的制备方法，在基板表面形成的一薄层 固态、或液体物质。 ●强调基板必不可少； —— 区分薄膜与金属箔、塑料薄膜 ●强调制备方法； —— 区分薄膜与厚膜，厚度不是区分的关键 通常厚度： 薄膜 1 μm 超薄膜 10 nm 厚膜 10 μm ●薄膜(Thin Film)：由物理气相沉积(PVD)、化学 气相沉积(CVD)、溶液镀膜法 等薄膜技术制备的薄层。 ●厚膜(Thick Film)：由涂覆在基板表面的悬浮液、 膏状物经干燥、煅烧而形成。 主要方法：丝网印刷、热喷涂 历史：陶瓷表面上釉 典型的厚膜制备方法 ●丝网印刷 ●等离子体热喷涂 涂层