孔径型超分辨近场结构光盘的掩膜热效应分析!-物理学报.PDFVIP

第 卷 第 期 年 月 物 理 学 报 ’% # ##’ # ， ， ， UC? 8’% 1C 8 # VIGC7,- ##’ （ ） ###.(;#M##’M’% # M%N$.#’ 5QO5 R9S)TQ5 )T1TQ5 !##’ QBA 8 RBWF 8 )CI 8 孔径型超分辨近场结构光盘的掩膜热效应分析! ! 沈全洪 徐端颐 齐国生 胡 恒 刘 嵘 （清华大学精密仪器与机械学系，光盘国家工程研究中心，北京 ###$% ） （ 年 月 日收到； 年 月 日收到修改稿） ##% $ # ##’ ( 基于高斯聚焦激光束热效应的超分辨近场结构光盘存储（孔径型)*+,-./01)）中，应用光学特性导纳矩阵建立 的盘片光传导模型，采用有限元分析软件 对不同激光功率和脉宽下的 掩膜层的孔径形成情况进行数 203456 )7 值仿真8 结果表明，当一定脉宽的激光功率超过介质的阈值时，掩膜层将有超分辨孔径形成，且孔径大小随功率的 增大而增大 理论分析与孔径型 光盘样片在不同激光功率下进行写入的实验结果相符，说明光热效应 8 )*+,-./01) 可以较好地描述孔径型)*+,-./01) 光盘掩膜层孔径形成的过程8 关键词：光存储，孔径型，超分辨近场结构，光热效应 ： ， !## %(#1 %%#9 透光孔径形成的物理机制，理论解释较多，目前尚无 J 引 言 统一结论，其中比较有代表性的两种理论解释为 ［， ］ $ OCA=D= 等提出的光热效应 和OF= 等提出的表 ［ ］ 在传统的光学系统下，光存储的密度已经接近 面等离子效应( 8 了由物镜的数值孔径（ ）和激光波长（）所确定的 清华大学光盘国家工程研究中心对孔径型 ! ! 衍射极限（ ），存储密度的提高受到了 )*+,-./01) 光存储进行了理论和实验研究，取得了 # K # JL M ! ! ［ ］ 很大的制约8 为了突破这一极限并进一步提高存储 一定的成果% 8 所采用的)*+,-./01) 的盘片结构 ［— ］