温度对气相传输法制备氧化锌晶体生长机制影响研究.pdfVIP

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温度对气相传输法制备氧化锌晶体生长机制影响研究.pdf

第45卷第8期 人 工 晶 体 学 报 v。1.45No.8 三Q!鱼生!旦 !Q型曼型垒生Q!墨!盟!旦垦!!垦垦垦!墨!垒坚 垒竺艘!!:!Q!鱼 温度对气相传输法制备氧化锌 晶体生长机制影响研究 王马华1,朱光平2,付丽辉3,居勇峰1,张杰1,季仁东1 摘要:为提高气相传输法制备微纳结构样品形貌的可控性,进行了生长温度调控下氧化锌晶体生长机制及其变化 的实验研究。实验中的样品制备,以高纯度锌粉末为原料,在无模板、无催化条件下,通过加热蒸发-氧化冷却-生长 晶体过程实现。其中,蒸发温度固定于750℃,反应区气体氛围保持稳定,生长区温度在450—600℃变化,制备出 不同生长温度下样品。对所制备出诸样品,应用扫描电子显微镜、x一射线衍射仪和透射电子显微镜等方法,进行形 貌与结构表征。基于表征结果,观察、分析、研究生长温度变化的影响,结合理论分析,得出了生长温度通过对生长 过程中锌蒸汽过饱和度的影响,决定着不同生长机制,从而有着不同的形貌结构的样品。 关键词:氧化锌;气相传输法;生长机制;过饱和度 中图分类号:0782 文献标识码:A ontheInfluenceofGrowth ontheGrowth Study Temperature MechanismforZnO Method CrystalbyVapor-phaseTransport WANG Ma.hual,ZHU Li.hui3,JUYong-feng。,ZHANG此1,JlRen—dong Guang-pin92,FU Information Instituteof ofElectronicand Technology,Huaian223003,China; (1.Faculty Engineering,Huaiyin 2.Schoolof andElectronic Normal 235000,China; Physics Information,HuaibeiUniversit3,,.,ud,lbel ofAutomation InstituteofTechnology,Human223003,Chinaj 3.Faculty Engineering。Huaiyin 12 2 tReceivedApril2016,0ccepIcdjub2016) theeffective fabricationofnanostructureznicoxide Abstract:For morphology-controlled samples, onhowthevariationof in influencesthe experimentalinvestigation temperaturegrowthregion growing was the mechanismof fabricated

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