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第六章 电容式传感器测控技术与系统 §1 电容式传感器的特点和工作原理 一、电容式传感器的特点 电容式传感器由两块平行的金属板构成，被测的机械位移无论是改变极板间距还是它们的相对面积或者介质特性，均能通过传感器电容量的变化而转换成电信号。 过去，电容式传感器曾被用来作为压力，位移和振动等参数的测量传感器。但是由于它存在着一些问题，如输出特性的非线性，传感器泄漏电容对灵敏度和测量精度的影响以及与传感器配合使用的电子线路比较复杂等缺点，使它的应用受到限制。 近几年来，由于集成电路的发展，可以使电子线路紧靠传感器的极板，这样使电缆分布电容的影响大为减小。因此，最近对扩大电容传感器应用的研究工作又开展起来，在位移、压力、力、振动等参数的测量中应用越来越广泛。 电容式传感器具有如下一些优点： （1）需要的作用能量极小 由于带电极板间的静电吸引力很小（约几个毫克），所需的作用能量与其他变换方式相比（例如与电阻应变式及电感式传感器相比）是非常小的。因此电容式传感器特别适宜用来解决输入能量低的测量问题。 （2）可获得较大的相对变化量 用电阻丝应变计测量时，一般得到电阻的相对变化量小于1%，这主要是受到应变计极限应变值的限制。当使用高线性电路时，电容式传感器的相对变化量可达100%或更大。 （3）能在恶劣的环境条件下工作 它在高温、低温及强辐射等各种环境条件下也能理想地工作，其原因在于这种传感器通常不需要使用有机材料或磁性材料，而那些材料通常是不能用于上述恶劣环境的。 （4）本身发热的影响小 电容传感器用真空、空气或其他气体作为绝缘介质时，介质损失是非常小的。因此本身发热的问题对这种传感器实际上可不考虑。 （5）动态响应快 由于电容传感器具有较小的可动质量和只需较低的作用能量，这意味着它的固有频率能够做得较高而所需的绝对阻尼也小。另一因素是载频，由于电容式传感器的介质损失小，故可工作在兆频的范围内，如此高的载频对所有的动态系统来说，将不再是一个限制因数了。 电容式传感器也存在一些缺点，主要缺点是： （1）输出特性的非线性 电容式传感器的电容量 式中S为极板面积；为极板之间介质的介电常数；d为极板距离。 可以看出电容C和极板距离d是非线性关系。采用差动电容传感器可以得到较高的线性，但由于存在泄漏电容和不可避免的不一致性，因此采用差动电容的方法也不能完全消除非线性。非线性有很多缺点，特别在数字化处理方面带来一些困难。 （2）泄漏电容的影响 传感器电容量及电容变化量往往小于泄漏电容，泄漏电容是由支持构件及用来连接电容传感器和电子线路的电缆所引起的。这些泄漏电容不仅降低了转换效率，还将引起输出误差。在某些场合，移动电缆所引起的电容变化量将可能与输入信号所产生的电容变化量具有相同的数量级。有一种方法可使电缆影响减至最小，即令电缆屏蔽层的电位跟踪与电缆相连的可动电容极板的电位，从而消除电缆的电容。另一种方法是将进行信号处理的电子部件安置在非常靠近电容传感器极板的地方，从而消除电缆的影响。 二、电容式传感器的工作原理 电容式传感器是具有一个可变参数的电容器，大多数场合运用两平行板组成的以空气为介质的电容器。 由两个平行平板组成的电容器的电容量为 C = 0.885 （1） 式中??——电容极板间介质的介电常数，对于真空??=1； S——两平行板所覆盖的面积 （cm2） d——两平行板之间的距离 （mm） C——电容量 （??F） 当被测量使上式中的S、d或?发生变化，电容量C也随之变化，如果保持其中的两个参数不变而仅改变其中一个参数，则就可把该参数的变化转换成电容量的变化，因此，电容量变化的大小与被测参数的大小成比例（注意不一定是成正比）。 电容式传感器根据其工作原理不同可分为变极距型、变面积型和变介质型三类；按极板形状不同，可分为平板形和圆柱型两类。为了改善特性，也可组成差动形式。 1．极距型 由（1）式可见，电容量c与极板间距d不是线性关系，而是如图6–2所示的双曲线关系。 若电容器极板距离由初始值d0变化Δd0，且在极距为d0和d0—Δd时，其电容量分别为C0和C1，则 C0= C1== = （2） 当时， 则（2）式可简化成 （3） C1与Δd近似有线性关系。所以改变极板距离的电容式传感器往往是设计成Δd在极小的范围内变化的。 一般电容式传感器的起始电容量在20～300??F之间，极板距离在25～200?m的范围，最大位移应小于极板间距的1/10。 在实际应用中，有时为了提高传感器的灵敏度和克服某些外界因数（如电源电压，环境温度等）对测量精度的影响，常常把传感器做成差动的形式，