DSS450多晶炉安全操作规程.docVIP

文件发行/修订履历 版本 日 期 ECN编号 修 改 内 容 修改/创建人 1 2011.06.20 / 首次发行，上接DSS450多晶炉安全操作规程+ M6 SGGC-0008+1+首次发行 冯小鹏 章节号 内容 页 次 1 目的 2 2 适用范围 2 3 参考文件 2 4 定义 2 5 职责 2 6 程序 2 7 附件 7 目的 为确保设备的正常工作，使操作者能够规范、熟练、正确、安全地使用该设备，特制定本操作规程。 适用范围 第二事业部PVS第三产品部 参考文件 无 定义 无 职责 无 程序 步骤 操作程序 潜在危险 安全要求 开机准备 1、按要求对设备参数进行点检，确认电路水路气路连接正常2、检查设备是否处于停机维修或定期维护状态 3、各按钮使之复位 4、与设备不相关物品清理出设备范围 1、点检不到位，造成设备不能正常运行，也可能造成人身或设备事故 1、电源要有可靠的接地保护，操作者要熟悉多晶炉的操作方法2、按照维护保养规程定期点检设备，发现设备有异常，应立即排除故障，并做好明显检修标识，确认和参数相符合方可开机3、不要将不相关工具或工件放置于设备上或附近4、操作时的个人装备要遵守车间公共要求 设备运行 1、打开电源及操作屏开关，检查水、电、气以及真空系统正常 2、装料前按要求穿戴劳保用品，点检参数要求后打开炉腔，开炉前确保4各夹子打开，根据指导书要求将硅料装入炉内 3、点检工艺参数正常后方可运行机器，工艺结束后按要求卸料4、机器运行过程中，注意观察机器是否有异常或报警，发现后及时处理并通知工程师 1、检查不到位可能会引起设备不能正常运行 2、不按程序操作会损坏硅料或设备以及造成人员伤害 3、工艺参数不当，可能损坏设备并导致产品报废 4、设备异常或报警不及时处理可能导致设备无法工作或产品报废 1、严禁非操作人员擅自控制操作屏，随意更改工艺参数2、务必按要求检查或点检参数，工作中要集中注意力，小心操作，严格遵守指导书要求3、工作中若出现故障或异常情况，应立即通知工程师并通知专业维修人员修理 工作结束 1、作业完成后，按照关机顺序关机，切断电源，关闭水阀，气阀门。 1、在不断电状态下清理机器会造成人身及设备事故 1、清理清洁设备时，必须停电停气停水后进行。 危险部位 1、炉腔夹 2、观测台 图例 伤害类型 □切伤 □割伤 □压伤 □卷入 □夹伤 □撞伤 □辐射 □坠落 □烫伤 □电击 □过敏 ■其他 □切伤 □割伤 □压伤 □卷入 ■夹伤 □撞伤 □辐射 □坠落 □烫伤 □电击 □过敏 □其他 伤害原因 如果炉腔夹没有打开就开炉，造成人员及设备事故 将手放置在观测台容易夹伤手，将工具或其他用品放在这里容易对周围的人员造成伤害 正确做法 启动打开炉腔前要确认四个腔夹已打开 不要将手或者其它工具放置在观测台 危险部位 3、冷却中的硅碇 4、卸料中的叉车 图例 伤害类型 □切伤 □割伤 □压伤 □卷入 □夹伤 □撞伤 □辐射 □坠落 ■烫伤 □电击 □过敏 □其他 □切伤 □割伤 □压伤 □卷入 □夹伤 ■撞伤 □辐射 □坠落 □烫伤 □电击 □过敏 □其他 伤害原因 将手放置在观测台容易夹伤手，将工具或其他用品放在这里容易对周围的人员造成伤害 卸料过程中，运行中的叉车和硅碇容易对周围人员造成伤害 正确做法 不要将手或者其它工具放置在观测台 人不要站在叉车下面或者离叉车过近 危险部位 5、下炉腔 6、上下炉腔密封口 图例 伤害类型 □切伤 □割伤 □压伤 □卷入 □夹伤 □撞伤 □辐射 □坠落 □烫伤 □电击 □过敏 ■其他 □切伤 □割伤 □压伤 □卷入 ■夹伤 □撞伤 □辐射 □坠落 □烫伤 □电击 □过敏 □其他 伤害原因 将工具或其他物品遗留在下炉腔，在炉子运行中容易