发展化学机械研磨制程之二维原子有限元素模式模拟钻石研磨粒之.pdfVIP

德霖學報 「第二十六期」 發展化學機械研磨製程之二維原子有限元素模式 民國102年4月 模擬鑽石研磨粒之切削行為 發展化學機械研磨製程之二維原子有限元素模式模 擬圓形刀鼻鑽石研磨粒之切削行為 1 2 3 林有鎰 邱進東 羅仕鵬 1,3 德霖技術學院，機械工程系教授 2 德霖技術學院，創意產品設計系副教授 摘要 本文考慮在研磨過程中，切屑厚度比研磨粒小很多，又在相當小的進給尺度下，將研磨粒視為直線 作用於銅工件上而建立了包含非線性彈簧及阻尼元素的二維原子有限元素模式。模擬過程為將圓形刀鼻 0 300 m s 鑽石研磨粒固定在研磨墊上，下壓至固定深度 (=3.7 A ) ，再以 的速度橫移進行含銅金屬層晶圓 (銅 金屬層，稱為銅工件的研磨切削，來移除銅工件原子，藉此探討二維鑽石研磨粒形狀的影響。結果顯示) 鑽石研磨粒和銅工件一開始並無接觸，因此切削力和下壓力皆為零；當鑽石研磨粒逐步下壓，切削力和 下壓力逐步增加；而當研磨粒開始以 300 m s 的速度橫移產生研磨切削行為，切削力和下壓力隨著時間的 經過，逐漸增加；當切削過程即將結束時，切削力和下壓力逐漸減少。 關鍵字：化學機械研磨製程、銅工件、圓形刀鼻鑽石研磨粒、二維原子有限元素模式 1 德霖學報 「第二十六期」 Developing a Two-Dimensional Atomistic FE Model to Study the Cutting Behavior of a Round-Nose Diamond Particle in CMP process Yeou-Yih Lin 1 Jinn-Tong Chiu 2 Ship-Peng Lo 3 1,3 Professor, De Lin Institute of Technology, Department of Mechanical Engineering 2 Associate Professor, De Lin Institute of Technology, Department of Creative Product Design Abstract In this paper, during the grinding process in CMP, the chip thickness is less than an abrasive particle, and the particle can be regarded to act on the copper workpiece linearly because of a significant small feed, a two-dimensional atomic finite element model with nonlinear spring-damping elements was established to inve