石墨件使用的问题.pptVIP

3.3.3 使用方法不当 在众多的石墨件使用的问题中，石墨坩埚的破裂占有很大的比例，而造成这种状况的原因中，使用不当是最不容忽视的主要原因。 正常情况下，1个18或20的石墨坩埚可用35炉左右，然而有非常多的石墨坩埚虽然在设计、选材、加工、煅烧中都未发生问题，但依然使用寿命很短，且有些石墨坩埚破裂后，从断面来看远未到达其应有的自然损耗程度。见图9： 图9 石墨坩埚如果设计、选材、加工、煅烧和使用方法得当则可以使用到其自然寿命结束为止。见图10：该石墨坩埚最薄处的厚度因降解而只有原设计的三分之一，但仍然没有破损。 原厚度 现厚度 为何同样的设计、材料，结果会有如此之大的差别，产生的原因又是什么？ 3.3.3.1 对石墨和硅的物理特性缺乏足够的了解。石墨的热膨胀系数为4.5~5.5*10-6/℃，硅从液态转为固态时，其体积要膨胀9%左右。 由此可见，石墨的膨胀系数基本上可不予以考虑，而硅的热缩冷涨因素是一个必须给予高度重视的问题。 3.3.3.2 熔料中温度控制不当。 造成熔料中石英坩埚发生形变，其埚壁在熔完料后紧贴在石墨坩埚的内壁上（见图11）。发生这种现象时，当埚内剩的余料较多时，冷却后硅的膨胀将使石墨坩埚受到很大的挤压，石墨坩埚非常容易被撑破，其寿命也必将大为缩短。 图11 无间隙 熔料温度如果控制的好，在拉完单晶后石英坩埚几乎未发生形变，其外壁和石墨坩埚之间尚留有一点间隙。 见图12：这样当埚内剩有较多余料，熔硅在冷却膨胀时这个间隙能起到很好的缓冲作用，不会将石墨坩埚撑坏。 图12 间隙 图13 因停电而使整埚料都在埚内，即使如此,石墨坩埚都丝毫未损。 三瓣埚未坏 由此可见，掌握一个理想的熔料功率和熔料方法，是提高石墨坩埚使用寿命的重要前提。 3.3.3.3 石英坩埚外径和石墨坩埚内径选配不当 石英坩埚放入石墨坩埚后四周没有间隙，这样即使熔料温度得当，料熔完后石墨坩埚侧面将承受很大的压力，使用寿命自然就短了。 因此，在设计石墨坩埚时，其内径一定要控制石英坩埚外径大，一定要留有间隙，一般留2.5毫米左右即可。 3.3.3.4 石墨坩埚外面积有大量硅蒸汽，见图12 硅蒸汽 沉淀物 当石墨坩埚中吸进大量的硅蒸汽后，其原有的强度受到很大的影响，使用寿命自然也就大为缩短，产生这种现象的原因主要： a.熔料温度过高。 b.料熔完后未及时降温。 晶体在熔化过程中是等温的，当埚内的料熔化后温度会加速上升，导致硅蒸汽的大量蒸发。 c. 熔完料埚位未及时上升 要避免这种现象的发生，除了掌握好熔料功率外，在料熔完前须提前降温，并及时升埚位，以免液面长时间在高温区停留，产生大量硅蒸汽。 3.3.3.5在导流筒的使用中常常发生因导流筒吃到硅料而影响使用寿命。 见图15、16：这两种状况都是埚位上升过头而将导流筒浸入熔硅，虽然将导流筒表面的硅料打磨掉后仍可使用，但使用的寿命肯定大为缩短。严重时在拉晶过程中石墨坩埚易断裂而掉入埚内。 图15 图16 喷硅 浸硅线 3.4 石墨的自然寿命短 在石墨器件的应用中还会发生另外的一种现象。无论在设计、选材和使用中不存在任何问题。但依然发现石墨因降解过快而损耗很大，使用寿命也不尽人如意。 众所周知，硅溶化后在石英坩埚内会产生大量的一氧化硅，挥发出的一氧化硅被氩气流带到炉体的下方，从排气管排出。 当一氧化硅流经石墨件时会和石墨，如石墨坩埚、加热器、保温筒发生反应生成碳化硅。每次产生的碳化硅经清炉吸除后，无论是石墨坩埚还是加热器其原有的厚度就不可避免地减薄了，使用寿命将不可避免地大为缩短。 要想改变这种状况，可从以下几个方面着重解决： a.改善热场的保温系统，以降低熔料和拉晶功率 通过改善热场的保温材料可降低拉晶功率20%左右，这不仅可以节约电能，也减缓了石墨件的降解速度，自然就增加了石墨的使用寿命。 b. 改进原有热场的设计，以改善原有的气流状况 石墨件上的碳化硅产生的多少，往往还和氩气流通道的大小有关。 在同样流量的状态下，通路越小其流速就越快，一氧化硅和石墨反应就越强烈，碳化硅的产生就越多，石墨降解也越快。因此，适当增加氩气流的通道就能不同程度地减少一氧化硅和石墨的反应，以增加石墨件的使用寿命。 c. 将下排气改为上排气 目前在单晶硅的生产中，基本上都是采用下排气的方式，如果将下排气改为上排气，就能彻底改变氩气流的方向，也就能最大限度地减少了一氧化硅与石墨反应生成碳化硅的可能性。通过这种方式的改变就能从根本上解决因石墨降解而降低石墨使用寿命短的问题。有资料介绍国外已有成功的经验。 通过上面三种改进方式，以达到提高石墨件，尤其是加热器和石墨坩埚的使用寿命是完全可以做到的。 通过