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880nm半导体激光器列阵及光纤耦合模块.pdf
第 18 卷 第 5 期 光学 精密工程 Vol . 18 No . 5
20 10 年 5 月 Op tics and Preci sion Engineering May 20 10
( )
文章编号 1004924X 20 10 05102 107
880 nm 半导体激光器列阵及光纤耦合模块
1 ,2 1 ,2 1 ,2 3 1
王祥鹏 ,梁雪梅 ,李再金 ,王冰冰 ,王立军
( 1. 中国科学院 长春光学精密机械与物理研究所 激发态物理实验室 ,吉林 长春 130033 ;
2 . 中国科学院 研究生院 ,北京 100039 ;3 . 清华大学 工程物理系 ,北京 100084)
摘要 :为了使半导体激光泵浦 N d ∶YVO4 固体激光器能获得大功率 、高光束质量 、线偏振的激光输出 ,利用 PICS3D 软件
设计了 In GaA s/ GaA s 应变量子阱结构 ,制作了发射波长为 880 nm 的大功率半导体激光器列阵 。该激光器列阵激射区
μ μ
单元宽为 100 m ,周期为 200 m ,填充因子为 50 % ,激光器列阵 CS 封装模块室温连续输出功率达 60 . 8 W ,光谱半高全
( )
宽 FW HM 为 2 . 4 nm 。为进一步改善大功率半导体激光器列阵的光束质量 ,增加半导体激光端面泵浦功率密度 ,采用
阶梯反射镜组对 880 nm 大功率半导体激光器列阵进行了光束整形 ,利用阶梯镜金属表面反射率受近红外波长变化影响
小的特点 ,研制出高稳定性 、大功率光纤耦合模块 。模块输出功率为 44 . 9 W ,光光耦合效率达 73 . 8 % ,尾纤芯径 Φ为
μ ( )
400 m ,数值孔径 N A 为 0 . 22 。
关 键 词 :880 nm 半导体激光器列阵 ;光纤耦合 ;阶梯镜
中图分类号 : TN248. 4 文献标识码 :A doi :10 . 3788/ O P E. 20 10 1805 . 102 1
880 nm semiconductor laser diode arrays and f iber coupl ing module
WAN G Xian gp eng1 ,2 , L IAN G Xuemei1 ,2 , L I Zaij in1 ,2 , WAN G Bingbing3 , WAN G Lij un1
( 1. Key L aboratory of E x ci te d S t ate P rocesses , Ch ang ch un I ns t i t ute of Op t ics ,
F i ne M ech anics an d P hy s ics , Chi nes e A ca demy of S ciences , Ch ang ch u n 130033 , Chi na;
2 . Gra d u ate Uni ve rs i ty of Chi nes e A ca demy of S ciences , B eij i ng 100039 , Chi na;
)
3. D ep a rt m ent of E ng i nee ri ng P hy s ics , Ts i ng h ua
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