（Bi,Nd）,4Ti,3O,12薄膜的溶胶-凝胶法制备及其铁电性质.pdfVIP

Bi，Nd)4TilOl2薄膜的浒腔．凝歧法制备及其铁l乜性质 摘要 摘要 究的热点，这种材料结晶温度较低、抗疲劳特性好、自发极化较大(相对SrBi2Ta209薄 膜来说)，所以可望成为新的铁电随机存储器(FRAM)专用材料。然而，目前用于制 备FRAM的铁电薄膜材料体系仍以锆钛酸铅(PZT)系列为主，要想替代这种传统的Pb 系列材料，仍然需要寻求结晶温度更低、剩余极化更高和耐疲劳性能更好的铁电材料 和制备工艺。 膜Bi3isNd0 退火，分别研究了退火气氛和退火温度对BNT薄膜的结构、表面形貌、电学性质、 漏电流和疲劳特性等性质的影响。结果表明退火气氛对薄膜的微观结构、表面形貌和 铁电性质等都有很大的影响。氮气中较低温度650。C退火的BNT薄膜结晶完全，显 kV／cm)和抗疲劳特性，而空气和氧气中 示良好的铁电性(2Pr=63．6p．C／cm2。Ec=130 退火的BNT薄膜只有在退火温度分别升高到710。C和7300C时才显示较好的结晶度 和铁电性。所以，与空气和氧气相比，氮气中退火可以大大降低BNT薄膜的结晶温 度。 另外，氨气、空气和氧气中退火的BNT薄膜的表面颗粒平均尺寸随着退火温度 的升高而增大，铁电性和介电性却并不是随着退火温度单调增长，而是在到达最佳退 火温度点后，剩余极化值又随着退火温度的进一步提高而减小。研究结果还显示BNT 薄膜的剩余极化值和介电常数值之间存在正比关系。 关键词：铁电薄膜，铁电随机存储器，溶胶．凝胶法，疲劳特性，漏电流 作 者：侯芳 指导教师：沈明荣 fabrication thinfilms of(8i,Nd)4Ti，Ou ．The by The fabrication thin films of(Bi，Nd)4Ti3012 by Sol—gel andtheir process ferroelectric properties Abstract lanthanides Recently,rare。earth doped Bi4Ti3012(BIT)with Bi—layered structurehasbeen perovskite studied for in intensivelypotential applications ferroelectric randomaccess toits low memories(FeRAM)due