激光干涉条纹锁定系统测量地面低频振动谱-激光与红外.pdfVIP

第４１卷　 第４期 　 　　　　　　　　　　　　　　激 光 与 红 外 Ｖｏｌ．４１，Ｎｏ．４ 　 ２０１１年４月　 　 　 　　　　　　　　　　　ＬＡＳＥＲ　＆　ＩＮＦＲＡＲＥＤ Ａｐｒｉｌ，２０１１ 　　文章编号：１００１５０７８（２０１１）０４０３９４０４ ·激光应用技术 · 激光干涉条纹锁定系统测量地面低频振动谱 １，２ ２ 易迎彦 ，刘德明 （１．武汉理工大学理学院物理系，湖北 武汉４３００７０；２．华中科技大学光电子科学与工程学院，湖北 武汉４３００７４） 摘　要：地面振动噪声是在地面高精度实验中一个重要的误差来源，安静环境下地面振动噪声 水平的幅度为纳米量级，通常干涉仪无法直接测量。设计并制作用于了纳米精度测量的激光 干涉仪反馈控制系统，该系统由激光器及稳频装置、干涉系统、检测及控制电路和位移反馈执 行机（压电陶瓷）组成。采用一个长周期的折叠摆对水平方向０．３Ｈｚ以下的振动频率进行隔 振，利用该系统对０．３～３Ｈｚ的低频地面水平振动谱密度进行测量了。测量结果表明在１Ｈｚ －９ 处，水平地脉动噪声为１０ ｍ／Ｈｚ量级。 槡 关键词：激光干涉仪；折叠摆；低频振动；反馈控制 中图分类号：ＴＮ２４　　　文献标识码：Ａ Ｌｏｗｆｒｅｑｕｅｎｃｙｓｅｉｓｍｉｃｓｐｅｃｔｒｕｍｍｅａｓｕｒｅｄｂｙａｌａｓｅｒ ｉｎｔｅｒｆｅｒｅｎｃｅｆｒｉｎｇｅｌｏｃｋｉｎｇｓｙｓｔｅｍ １，２ ２ ＹＩＹｉｎｇｙａｎ ，ＬＩＵＤｅｍｉｎｇ （１．ＤｅｐａｒｔｍｅｎｔｏｆＰｈｙｓｉｃｓ，ＳｃｈｏｏｌｏｆＳｃｉｅｎｃｅ，ＷｕｈａｎＵｎｉｖｅｒｓｉｔｙｏｆＴｅｃｈｎｏｌｏｇｙ，Ｗｕｈａｎ４３００７０，Ｃｈｉｎａ； ２．ＣｏｌｌｅｇｅｏｆＯｐｔｏｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃＳｃｉｅｎｃｅａｎｄＥｎｇｉｎｅｅｒｉｎｇ，ＨｕａｚｈｏｎｇＵｎｉｖｅｒｓｉｔｙｏｆＳｃｉｅｎｃｅａｎｄＴｅｃｈｎｏｌｏｇｙ，Ｗｕｈａｎ４３００７４，Ｃｈｉｎａ） Ａｂｓｔｒａｃｔ：Ｓｅｉｓｍｉｃｎｏｉｓｅｉｓｏｎｅｏｆｔｈｅｃｒｕｃｉａｌｐｒｏｂｌｅｍｓｆｏｒｔｅｒｒｅｓｔｒｉａｌｐｒｅｃｉｓｉｏｎｅｘｐｅｒｉｍｅｎｔ．Ｉｔｃａｎｎｏｔｂｅｍｅａｓｕｒｅｄｂｙ ｔｈｅｇｅｎｅｒａｌｉｎｔｅｒｆｅｒｏｍｅｔｒｉｃｍｅｔｈｏｄｂｅｃａｕｓｅｔｈｅｓｅｉｓｍｉｃｎｏｉｓｅｕｓｕａｌｌｙｈａｓｔｈｅｌｅｖｅｌｏｆｎａｎｏｍｅｔｅｒ．Ａｌａｓｅｒｉｎｉｎｔｅｒｆｅｒｏｍ ｅｔｅｒｃｏｎｔｒｏｌｓｙｓｔｅｍ，ｗｈｉｃｈｃｏｎｓｉｓｔｓｏｆａｌａｓｅｒｉｎｔｅｒｆｅｒｏｍｅｔｅｒ，ａｄｅｔｅｃｔｏｒ，ａｃｏｎｔｒｏｌｃｉｒｃｕｉｔ，ａｎｄａｄｉｓｐｌａｃｅｍｅｎｔｆｅｅｄｂａｃｋ ａｃｔｕａｔｏｒ（ｐｉｅｚｏｅｌｅｃｔｒｉｃｃｅｒａｍｉｃ），ｈａｓｂｅｅｎｂｕｉｌｔｕｐ．Ｔｈｅｌｏｗｆｒｅｑｕｅｎｃｙ（０．３～３Ｈｚ）ｓｅｉｓｍｉｃｎｏｉｓｅｌｅｖｅｌｉｓｍｅａｓｕｒｅｄ ｕｓｉｎｇｔｈｅｌｏｃｋｉｎｌａｓｅｒｉｎｔｅｒｆｅｒｏｍｅｔｅｒｃｏｍｂｉｎｅｄｗｉｔｈａｌｏｎｇｐｅｒｉｏｄｆｏｌｄｅｄｐｅｎｄｕｌｕｍ．Ｔｈｅｒｅｓｕｌｔｓｓｈｏｗｔｈａｔｔｈｅｍａｘｉ ９ ｍｕｍｖｉｂｒａｔｉｏｎｎｏｉｓｅｌｅｖｅｌｉｓ１０ｍ／ Ｈｚａｔ１Ｈｚ． 槡 Ｋｅｙｗｏｒｄｓ：ｌａｓｅｒｉｎｔｅｒｆｅｒｅｎｃｅ；ｆｏｌｄｅｄｐｅｎｄｕｌｕｍ；ｓｅｉｓｍｉｃｎｏｉｓｅ；ｆｅｅｄｂ