横向调制偏振光测量导轨直线度.pdfVIP

第29卷第4期 光学 学 报 V01．29，No．4 ACTA 2009年4月 OPTICASINICA April，2009 文章编号：0253—2239(2009)04一0955—05 横向调制偏振光测量导轨直线度 朱凌建1’2 李照锁1 刘君华2 张钟华3 f1西安理工大学机械与精密仪器工程学院，陕西西安710048] 2西安交通大学电气学院，陕西西安710049 【 3中国计量科学研究院，北京100013 J 摘要介绍了一种测量导轨直线度误差的新方法，利用偏振干涉原理调制出一束偏振角随光束横向坐标线性变化 的特殊线偏振光光束。通过一个随直线度误差移动的光缝测量出光束中不同位置的偏振角，根据直线度误差与偏 振角之问的线性关系。实现对直线度误差的测量。从理论上对该方法进行了论证分析，进而详细介绍了光学调制 器的组成。设计了偏振角测量的光电组件，并进行了相应的实验。实验结果分析表明，该实验装置的直线度误差与 偏振角之间的直线拟合相关指数R2优于o．9995，且测量直线度误差范围不低于o．5mm，构建的测量系统经标定 后测量分辨力可以达到亚微米级。测量不确定度达到1“m。该方法不仅实现方便、可靠性较高，而且可以克服测量 时由于光强变化、导轨形面误差对测量结果的影响。稍加改进即可实现二维直线度误差测量，测量精度与自准直仪 相当，具有一定的理论研究意义和较强的实际应用前景。 关键词光学测量；直线度误差；偏振角测量；偏振角调制 中图分类号 TH741文献标识码 A doi：10．3788／AO0955 Measurementwith Straightness-Error Laterally ModulatedPolarized Light Zhu LiZhaosu01Liu Junhua2 Lingjianl’2 ZhangZhonghua3 P，．ec泌￡o住J佗8￡r钆竹oe他t l％￡￡叼e0，Mec危口住￡cn￡n他d E扎gi竹Be，．￡，W， 710048，I?九i竹a X{’口他U砘￡t圯tIsit∥吖T0c九他ofogⅣ，Xf’口竹，S危。眦札∞t 2 Sc九00C o厂皿Pct，．沈Ⅱf眈们竹ee订叼，崩’口竹t，￡∞to哪№溉鸺i￡可，涮’口竹，S危∞竹戚710049，mt竹a m8蹴钆te 3№tio竹口Z o，胁￡r0￡凹可o，观i佗口，巧i螂lo0013，吼￡佗n AbstractAnewmethodof erroris onalinear between measuringguidestraightnessproposed．Basedrelationship are