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目标激光散射特性在钢板表面微观轮廓精度测量中的应用.pdf
第27卷第1期 兵 工 学 报 V01．27No．1
2O06年1月 ACTAARMAMENTARII jan． 2006
目标激光散射特性在钢板表面微观轮廓
精度测量中的应用
李丽娟，安志勇，曹国华，董起顺，李振辉，曹维国
(长春理工大学光电工程学院，吉林长春130022)
摘要：针对冷轧钢板表面微观轮廓精度的在线测量问题，提出了测量钢板表面粗糙度的2个
为基础，分析和建立了冷轧钢板表面粗糙度参数数学模型，从而确立了镜面反射光强和表面粗糙度
之间的定量关系。通过理论分析和实验的方法找到最佳的入射激光波长，设计了表面粗糙度参数
R。测量分系统和每英寸波峰数PPJ测量分系统。采用集成技术，将R。测量单元、PP，测量单元
等多个不同功能的单元集成在一起，实现多个参数的同时实时非接触测量。
关键词：光学；激光；散射；镜向反射；非接触
中图分类号：TG84 文献标志码：A
Laser Characteristicof ectto
ApplyingScattering obj Measuring
MicrocosmicProfilePrecisionofSteelPlate
Surface
LI Guo—hua，DONGQi—shun，
Li—juan，ANZhi—yong，CAO
LIZhen—hui，(AOWei—guo
of ofScienceand
of TechnoIogy，Changchun
(CoIlege0ptoeIectronicEnginee“ngChangchunUniversity
aimat the ofsurfacemicrocosmicofthecold—rolledsteel
Abstract：TakingmeaSuringprecision profile
the and of surface aboutthe arith—
measuringroughnessparameters profile
plate， principletechnique
metic errorRandthe modelsof arithmetic
average a peaksperinch(PPj)wereproposed．Theprofile
were
errorRandcorrelationTofthecold—rolledsteel surfaceestablishedbased
average a 1ength plate
between reflectionand
ontheBeckmann andthe relation
scatteringtheory quantitative specular
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