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基于嵌入式的激光光束质量的测量与控制 长春理工大学，吉林省长春市 130000 摘 要：为实现激光光束质量参数的自动化测量,提出一种嵌入式测量系统。该系统选择混合式步进电机组作为执行机构来确定多个采样位置;同时采用面阵电荷耦合器件(CCD)多点探测激光光斑的图像信息,实时计算不同采样位置激光光斑的质心和光强,并根据相关理论计算出激光光束的束腰宽度和束腰角等参数,最后由上位机显示 激光光斑的二维、三维光强分布及处理结果。实验结果表明，系统能够对400 ~ 1100 nm连续激光器发射激光光束质量进行自动化测量，测量精度达±6%，测量时间小于3 min。 关键词：嵌入式；曲线拟合；多点采样；测量精度；CCD Based-on embedded Measurement and Control of Laser Beam Quality Hu Wang, Xiaoman Wang, Fang Ye Changchun University of Science and Technology, Changchun, China Abstract：In order to realize automatic measurement of beam quality emitted by laser，the embedded measuring system of laser beam quality factor M2 is proposed． In this system，hybrid stepping motor is selected as actuator for determining multiple sampling positions． In addition，the image information of the laser spots at multiple positions is detected by using array charge couple device ( CCD) ，and the centroid and light intensity of different sampling positions are calculated in real time，then the parameters，such as beam waist width and divergence angle，etc． ，are calculated theoretically in accordance with M2 factor，finally the 2D/3D distribution of light intensity and processing result are displayed on the host computer．The result of experiment indicates that the system can automatically measure the laser beam quality for 400 ～ 1100 nm continuous laser，the measuring accuracy is up to ± 6%，and the measuring time is less than 3 min． Key words：keyword1; keyword2; keyword3; keyword4; keyword5  飞速发展的激光通信、激光加工、激光测试、激光武器等行业对激光器性能参数的需求越来越高。一种能快速且准确的测量激光光束质量的系统显得有为的重要。 1 激光光束质量参数的测量 怎样来测量光束质量，起初国际上对于怎样描述激光光束质量是较为混乱的，直到A.E.Siegman将基于实际光束的空间和空间频率谱的二阶矩表示的束宽积定义为光束质量因子，它相当于从描述广播的复振幅的无穷多信息中，通过二阶矩形式来抽取组合出因子，较合理的描述了激光光束质量，并被国际标准化组织ISO标准采纳。 因子定义为： （1） 为实际光束的束腰直径，为远场束散角，为理想高斯光束的束腰直径，为远场束散角，为激光波长。从式（1）不难看出因子值越大，实际光束比理想高斯光束越发散，其光束质量越差。此时，对因子的测量实质上转化成了激光束腰直径与远场发散角的测量。本系统在测量时首先确定质心位置（激光光斑的中心位置），然后计算激光光斑尺寸，通过光束传播曲线拟合，最终求得光束质量的各项参数。 1.1 质心位置 激光光束在空间传输时，沿轴任