奈米制程设备.PPT

南台科技大學電子系微電子組專業領域介紹 實驗室設備(J504-2、J506) 陶瓷製程設備： 1600℃高溫爐、1200℃高溫爐、管式爐、極化槽、搗磨機、壓磨機、 恆溫恆濕機…. 薄膜製程設備： 真空濺鍍機、真空蒸著機、冰水機、快速升溫退火爐、sol-gel製程設備 精密電性量測設備： HP4294阻抗分析儀 HP4156半導體參數分析儀 光學桌探針 微波元件製程與量測設備： 網板印刷機、場形室、 HP8720網路分析儀 奈米製程設備： 奈米研磨機、奈米碳管成形機 研 究 領 域 介電及鐵電陶瓷、薄膜 溶膠凝膠法製造類堇青石玻璃陶瓷 SrBi2(Ta1-xVx)2O9及Sr(Bi2Ta2)1-xTi4xO9系列陶瓷 (Bi1-xSmx)NbO4系列陶瓷 SrBi4(Ti4-xZrx)O15系列鐵電陶瓷及薄膜 氮化鋁(AlN)材料及薄膜 微波介電陶瓷材料 濾波器與天線陶瓷基板與靶材製作 歷年研究計畫 93年國科會計晝，“在微波共振子上製造高效率陶瓷微波通訊元件”，主持人，金額：430,200元。 94年國科會計晝，“高導熱氮化鋁之低溫燒結及低溫共燒陶瓷(LTCC)之應用”，主持人，金額：409,000元。 95年國科會計晝，“低溫共燒元件(LTCC)之設計製作與量測” ，主持人，金額：498,200元。 97年國科會計晝，“在Mg(Tal-XNbX)2O6微波介電陶瓷基板上設計製作雙頻與四頻陶瓷帶通濾波器”，主持人，金額：775,000元。 98年國科會計晝，“AB2O6 (A=Mg, Zn；B=Ta, Nb)陶瓷三頻與四頻帶通濾波器”，主持人，金額：1,229,019元。 98年國科會大專生專題計晝，“端點耦合微帶線CPW陶瓷超寬頻濾波器”，指導教授，金額：47,000元。 歷年研究計畫 99年國科會計晝，“以sol-gel法研發可撓曲高分子/陶瓷複合材料及其在近人體天線之應用(I)”，主持人，金額：698,000元。 99學界協助中小企業科技關懷計畫，“以陶瓷/金屬合金取代黃銅鑄件之可行性評估與探討”，主持人，金額：NT 72,000元。 99年國科會大專生專題計晝，“符合MICS頻帶植入式天線之設計”，指導教授，金額：47,000元。 100年國科會計晝，“以sol-gel法研發可撓曲高分子/陶瓷複合材料及其在近人體天線之應用(Ⅱ)”，主持人，金額：621,000元。 100學界協助中小企業科技關懷計畫，“陶瓷合金水錶之研發”，主持人，金額：NT 60,000元。 100年國科會大專生專題計晝，“可應用於WLAN及WiMAX之三頻單極陶瓷天線”，指導教授，金額：47,000元。 論文發表與專利 近五年相關專利 “多頻帶通濾波器A MULTI-BAND BANDPASS FILTER ” ：台灣發明專利公開號：200947798 “寬頻共平面波導饋入之對稱螺旋單極生醫植入式天線”：台灣發明專利公開號：200952257 “奈米螢光陶瓷材料”：[台灣發明專利申請中] “電極天線”： [台灣發明專利申請中] 專題生畢業方式 發表論文 參加比賽(材料不適合) 推甄進南台或他校碩士班 筆試進南台或他校碩士班 目 前 已 收 學生 博士班：1 人 碩士班： 已畢業：23人 在學碩二：3 人 在學碩一：3 人 大學部專題生：5 人 已畢業碩士研究生考取他校博士班 可學習技術及未來發展 陶瓷材料製程技術---半導體製程工程師 薄膜製程技術---半導體製程工程師 薄膜設備學習與NDL認證---半導體製程工程師 貴重儀器NDL認證---半導體製程工程師 奈米製程技術---半導體製程工程師 微波元件設計軟體學習---通訊元件設計工程師 微波元件製作、量測---通訊元件設計工程師 生醫元件之設計、製作、量測---通訊元件設計工程師 * * * * * * 微波材料與元件實驗室 鄭建民 Zn(Ta1-xNbx)2O61200℃燒結 Zn(Ta2-xNbx)O6陶瓷基板(厚度0.5~3mm) SrBi2Ta2O9靶材(2吋) Bi4Ti3O12靶材(2吋) 微波濾波器與天線 陶瓷寬頻、雙頻天線 陶瓷寬頻、超寬頻、雙頻、三頻、四頻帶通濾波器 陶瓷雙頻帶通濾波器A 陶瓷雙頻帶通濾波器B 陶瓷單頻(4.2 GHz)天線 奈米螢光陶瓷材料 奈米Zn2SiO4綠色螢光陶瓷 無鉛壓電材料薄膜元件 KNN無鉛壓電材料系列 可撓式高分子/陶瓷基板