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·机械制造与研究· 贾轶杰，等·几种最新加工微阵列方法的比较
几种最新加工微阵列方法的比较
贾轶杰，何勇，张年松，李迎
(南京理工大学机械工程学院．江苏南京210094
摘要：分别介绍了使用LIGA技术、徽细电火花线切割技术(斗．WEDM)、微磨技术、组合式加
工技术加工徽阵列的最新方法。使用移动HGA技术加工微针阵列、徽细电火花技术加工复杂
的三雏微阵列电极、微磨技术加工微雏塔阵列、和UV-uGA技术与微细电火花技术组合加工
饭阵列电极的工艺方法。主要论速各种方法加工高深宽比阵列结构的原理度其优缺点以厦加
工中的效率、成本等问题。
关键词：徽阵列；uCA技术；微细电火花线切割；微磨技术；组合式加工
中图分类号：THl6文献标志码：A 文章编号：1671-5276(2012)014)0434)2
SeveralLatestMethodsof
Comparisonamong Processhtg
M，cma哪y
JIA Yong．ZHANC
Yi-jie，HE Nian-song．uYing
of,Science
and
(NanjingUniversity Technology，Nanjing210094，China) ．
latest
des甜b∞the methodsinwhich舳LIGA
Ab一3act：Tbis[阍uor processing technology．p-WEDMtechnology．micro-millin☆l
aJro LIGA is
used．For mobile usedto
technology，combinedproce础gtechnology example，the techno|ogyprocessm祀巾needles，
the to throe-dimensional to micm
p-WEDMtechnologyprocesscomplex micrcelectro№array．themicro·millingtechnologyprocess
surfaceandUV-LIGAandmicroEDMboth to micro-electrodealso the
It discusses
pyramid-structured technologiesprocess array
and andothersofOlefabricationof r-a_omi-
pnnoiple，advantagesdisadvantages，processingefficiency。cost complainthighaspect
crcelec仲ode
arrays．
Keywords：micrcerray；LIGAtechnology；la-WEDM；micro·millingtechnology；combinedprocessing
目前微阵列被广泛应用于军事、安防、医疗、科研等领 主要是由于同步x射线较为昂贵和生产周期较长。LIGA
域并有很好的发展前景。例如用MEMs技术制作的徽阵技术以制造高深宽比的二
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