ch+电阻应变式传感器及其应用(传感器原理及其应用)(俞阿龙)(南大)课件.ppt

一、半导体应变计的原理及结构 固体受到作用力后，电阻率就要发生变化，这种效应称为压阻效应 。 所有材料在某种程度上都呈现压阻效应，但半导体材料的这种效应特别显著。 薄膜型半导体应变计：利用真空沉积技术奖半导体材料沉积于绝缘体或蓝宝石基片上制成的。 半导体应变计优点： 二、 测量电路 恒压源供电 恒流源供电 三.环式传感器 圆环式传感器弹性元件的结构,如图2.28所示。a)为拉力环,(b)为压力环。环式常用于测几十千克以上的大载荷,与柱式相比,它的特点是应力分布变化大,且有正有负,便于接成差动电桥。 扩散型压阻式压力传感器 扩散型压阻式压力传感器 特点 优点: 体积小，结构比较简单，动态响应也好，灵敏度高，能测出十几帕的微压，长期稳定性好，滞后和蠕变小，频率响应高，便于生产，成本低。 测量准确度受到非线性和温度的影响。智能压阻式压力传感器利用微处理器对非线性和温度进行补偿。 基座 l b h 固态压阻式传感器恒流工作电路 压阻式加速度传感器 固态压阻式传感器恒压工作电路 压阻式压力传感器结构简图 1—低压腔 2—高压腔 3—硅杯 4—引线 5—硅膜片 采用N型单晶硅为传感器的弹性元件， 在它上面直接蒸镀半导体电阻应变薄膜 上一页 返 回 下一页 工作原理： 膜片两边存在压力差时，膜片产生变形，膜片上各点产生应力。 四个电阻在应力作用下，阻值发生变化，电桥失去平衡， 输出相应的电压，电压与膜片两边的压力差成正比。 四个电阻的配置位置： 按膜片上径向应力σr和切向应力σt的分布情况确定。 设计时，适当安排电阻的位置，可以组成差动电桥。 上一页 返 回 下一页 上一页 返 回 下一页 例题：一台采用等强度梁的电子称，在梁的上下两面各贴有两片电阻应变片，做成称重传感器，如图2-12所示。已知L=100mm，b0=11mm，h=3mm，E=2.1×104N/mm2，K=2，接入直流四臂差动电桥，供桥电压6V，求其电压灵敏度(Ku=U0/F)。当称重0.5kg时，电桥的输出电压U0为多大? 解：等强度梁受力F时的应变为 当上下各贴两片应变片，并接入四臂差动电桥中时，其输出电压： 则其电压灵敏度为 =3.463×10-3 (V/N)=3.463(mV/N) 当称重 F=0.5kg=0.5×9.8N=4.9N时，输出电压为 U0 =Ku F=3.463×4.9=16.97(mV) 1、柱力式传感器 圆柱式力传感器的弹性元件分为实心和空心两种。 柱式力传感器 -ε2 +ε1 截面积S F F F 面积S -ε1 +ε2 b） a） 在轴向布置一个或几个应变片，在圆周方向布置同样数目的应变片,后者取符号相反的横向应变，从而构成了差动对。由于应变片沿圆周方向分布，所以非轴向载荷分量被补偿，在与轴线任意夹角的α方向，其应变为 ： ε1——沿轴向的应变；μ——弹性元件的泊松比。 当α=0时 当α=90?时 E：弹性元件的杨氏模量 2、梁力式传感器 等强度梁弹性元件是一种特殊形式的悬臂梁。梁的固定端宽度为b0，自由端宽度为b，梁长为L，粱厚为h。 力F作用于梁端三角形顶点上，梁内各断面产生的应力相等，故在对L方向上粘贴应变片位置要求不严。 横截面梁 双空梁 S形弹性元件 各种平行双孔梁 P （b） （a） 应变式压力传感器 3、应变式压力传感器 测量气体或液体压力的薄板式传感器，如图所示。当气体或液体压力作用在薄板承压面上时，薄板变形，粘贴在另一面的电阻应变片随之变形，并改变阻值。这时测量电路中电桥平衡被破坏，产生输出电压。 圆形薄板固定形式：采用嵌固形式，如图（a）或与传感器外壳作成一体，如图 (b)。 应变片 4、应变式加速度传感器 壳体 机座 a F R1 R2 m 充满硅油 基本结构由悬臂梁、应变片、质量块、机座外壳组成。悬臂梁（等强度梁）自由端固定质量块，壳体内充满硅油，产生必要的阻尼。 当壳体与被测物体一起 作加速度运动时，悬臂梁在 质量块的惯性作用下作反方 向运动，使梁体发生形变， 粘贴在梁上的应变片阻值发 生变化。通过测量阻值的变 化求出待测物体的加速度。 ??? 2.2 压阻式传感器  压阻式传感器:指利用单晶硅材料的压阻效应制成的传感器。 单晶硅材料在受到力的作用后，电阻率发生变化，通过测量电路就可得到正比于力变化的电信号输出 应用：压力、拉力