犕犈犕犁节点化建模及其在集成微系统设计中的应用-光学精密工程.PDFVIP

第 卷 第 期 光学 精密工程 １８ １ 　 Ｖｏｌ．１８ Ｎｏ．１ 　 　 　　 　　　　　　 Ｏ ｔｉｃｓａｎｄＰｒｅｃｉｓｉｏｎＥｎｉｎｅｅｒｉｎ 　　　 　　　 　 年 月 　 ｐ ｇ ｇ ２０１０ １ Ｊａｎ．２０１０ 　 　 　 文章编号 （ ） １００４９２４Ｘ２０１００１０１９７０８ 　 犕犈犕犛节点化建模及其在集成微系统设计中的应用 １ １ ２ １ 王永泉 ，陈花玲 ，彭 倍 ，朱子才 　 （ 西安交通大学 机械工程学院，陕西 西安 ； 电子科技大学 机电工程学院，四川 成都 ） １． ７１００４９２． ６１００５４ 摘要：为实现 ＭＥＭＳ产品的快速设计和性能验证，在借鉴其结构化设计思想即节点分析法的基础上，提出了一种与常规 信号流类比不同，适于集成微机电系统快速仿真的等效电路建模思路和方法。首先，对系统及 ＭＥＭＳ器件进行功能及 结构分解；然后，分别对各基本单元进行节点化建模，并在一定的机电类比规则下将其转换为等效电网络（元件）；最后， 根据节点变量约束关系，将这些等效网络（元件）逐层重构为器件级和系统级等效电路。结合一类典型 ＭＥＭＳ集成系统 ———梳齿式静电反馈微加速度计的分析实例，对上述方法进行了具体介绍和验证。利用 ＯｒＣＡＤ等电路仿真器分析、测 试了所建立的体现多能域耦合关系的微系统数字化分析原型，结果显示，相对于 ＶＨＤＬＡＭＳ描述法，该模型具有单一 域内的更加直观的模型形式和快捷的仿真速度，表明本文提出的方法在复杂 ＭＥＭＳ集成系统的分析设计中具有一定的 应用价值。 关 键 词：微机电系统（ ）；系统级仿真；节点分析法； ；等效电路 ＭＥＭＳ ＶＨＤＬＡＭＳ 　 　 中图分类号： ； 文献标识码： ＴＮ６０３．５ＴＰ２１２ Ａ 　　 犕犈犕犛狀狅犱犪犾犿狅犱犲犾犻狀 犪狀犱犻狋狊犪 犾犻犮犪狋犻狅狀狋狅 犵 狆狆 犱犲狊犻狀狅犳犻狀狋犲狉犪狋犲犱犿犻犮狉狅狊狊狋犲犿狊 犵 犵 狔 １ １ ２ １ ， ， ， ＷＡＮＧＹｏｎｕａｎ ＣＨＥＮＨｕａｌｉｎ ＰＥＮＧＢｅｉＺＨＵＺｉｃａｉ ｇｑ ｇ （ ， ’ ，