基于MSP430微内腔结构测量装置.docVIP

基于MSP430微内腔结构测量装置【摘要】介绍一种用于微内腔二维坐标测量的装置，采用高性能、低功耗的MSP430作为主控芯片，利用高精度光电编码器和线位移传感器测得内腔任一点的二维极坐标，并转化成相应的笛卡尔坐标并送显示。给出系统总体设计结构和电路系统，并制作了具体的测量系统装置，实现对内腔二维坐标的测量。最后，设计了测量装置和标定装置，对测量系统进行标定。 【关键词】内腔；MSP430单片机；光电编码器；位移传感器；维坐标测量 Abstract：One measurement for measuring two-dimensional coordinate of micro inner cavity is proposed.It uses high-performance and low-power MSP430 as the main controller.A high-precision optical encoder and a linear displacement sensor are used to measure the two-dimensional coordinate of any point in the chamber.The system architecture and circuit system are given.The real measurement instrument is produced.Then the corresponding Cartesian coordinates is transformed and displayed.At the end the measurement and calibration device are designed. Keywords：Cavity；MSP430microcontroller；Opticalencoder；Displacement Sensor；Two-dimensional coordinate 1.引言 内腔由于内部结构不可见和结构尺寸小，难以直接测量。现有的对内腔的坐标尺寸测量大多利用传统的游标尺测得，同时也有一些比较先进的测量技术，如三坐标测量机，合肥工业大学陈宇等设计的可移动多维坐标结晶器内腔尺寸自动测量机，可实现对结晶器内腔进行自动检测[1]。这些已有的测量系统虽然功能性能都比较全面，但是他们的表现出一个共同的缺点，体积大、系统成本高，不便于携带，以及不能进行微小的腔体内的二维坐标测量。文中提出了一种小巧便携低成本的微小内腔二维坐标测量装置，设计制作了测量系统的装置。同时，设计了相应的标定装置，提高系统的可靠性和准确性。 2.测量系统设计方案 2.1 机械机构 测量系统由机械机构和电路处理两部分组成。系统的机械结构图1，包含机盒、光电编码器、容栅式线位移传感器和测量探针组成。容栅尺在水平面上有一个自由度，可以沿着系统的一个坐标轴自由移动[2]。 光电编码器上的探针，在测量平面上做旋转运动，测得以光电编码器中心为中心的极坐标参数。因此，只要调整容栅尺和测量探针移动方向和大小，便可以计算出测量平面上的任一点二维坐标，并显示出当前点的坐标值。 光电编码器[3]，测量探针在平面上旋转的角度，丹麦SCANCON 2RM转一圈可输出7500个脉冲，分辨率为0.048o(360o/7500)。同时输出有A、B相脉冲，两脉冲相位差为90o，当顺时针旋转时，A相在前；逆时针旋转，B相在前。其体积小，测量精度高，适宜用于高精度便携式设备。 KR2型容栅位移传感器[3]通过JR-01AK容栅转接器RS-232串口信号，便于与测量电路系统相连。最小分辨率为0.01mm。 2.2 电路系统设计 系统电路由四部分组成，电源模块、数据采集、信号处理和显示部分。测量系统采用低功耗MSP430F149系列单片机[4，5]，如图2。 主控制器采用TI MSP430F149，MSP430系列单片机最主要的特点是低功耗、1.8-3.6V的低电压，RAM数据保持方式下耗电仅为0.1μA/MIPS，I/O输入端口的漏电流最大仅为50nA，因此非常适合小型的手持仪表设备。 测量系统对探针正反转判断电路如图3，光电编码器的输出为一组A、B相脉冲，最高频率为200KHz，为了更加快速准确地检测到脉冲个数，在采集脉冲前，增加一个D触发器[6，7]。D触发器的反应时间为9ns，足以准确及时记录下脉冲个数，减少角度测量的脉冲丢失，提高精度。 D触发器锁存A、B相的相序(如图4)，判断光电编码器顺时针或逆时针旋转。通过与非门，产生低电平计数脉冲“UP”和“DOWN”时序，分别送入加减计数器74HC193。