氮气直流辉光放电阴极鞘层区电子行为的蒙特卡罗模拟-河北大学学报.PDFVIP

第 卷 第 期 河北大学学报（自然科学版） 2 1 3 VOI . 2 1 NO . 3 年 月 （ ） 200 1 9 JOurnaI Of Hebei UniverSity NaturaI Science EditiOn Sep . 200 1 !!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!! 氮气直流辉光放电阴极鞘层区电子行为的 蒙特卡罗模拟研究 1 2 张连珠 ，于 威 （ 河北师范大学 物理系，河北 石家庄 ； 河北大学 物理科学与技术学院，河北 保定 ） 1. 05009 1 2 . 07 1002 摘 要：采用蒙特卡罗模拟对氮气直流辉光放电等电子体阴极鞘层区内电子的输运过程进行了研究，计 算了阴极鞘层中电子的能量及角分布的空间变化. 模拟讨论了电子密度和电子平均能量在鞘层的轴向分布 规律 结果表明：在鞘层电子主要以高能束的形式朝前散射，电子在输运过程中表现出的这一特征依赖于放 . 电条件，电子碰撞电离和离解电离产生的次电子在鞘层边界附近迅速倍增. 模拟结果为分子气体辉光放电等 离子体过程的机理的认识提供了参考依据. 关键词：辉光放电；阴极鞘层；蒙特卡罗模拟；电子输运 中图分类号： 文献标识码： 文章编号： （ ） O 562 .4 A 1000 - 1565 200 1 03 - 0239 - 05 辉光放电等离子体技术广泛应用于薄膜制备、刻蚀及材料表面处理等领域，多年来国内外对 ， 等 Ar He ［ ］ 原子气体辉光放电内粒子行为规律进行了大量模拟与理论计算工作 1 ~ 3 . N2 辉光放电作为材料合成、表面 改性等技术中氮活性粒子的提供手段在微电子器件制备及材料加工等领域已得到了广泛的应用 特别是近 . 几年来CaN ，- C N 等新型功能材料合成及材料表面改性方面研究的深入，人们采用质谱、光学发射谱等 ! 3 4 技术对放电反应过程及等离子体内粒子行为进行了研究，因此有必要从微观角度对等离子体内离子行为及 其动力学过程进行理论分析，对 辉光放电等离子体内部反应机理进行确切的描述 N2 . 分子气体放电等离子体内包括离解、振动激发等不同单原子气体等离子体的特性，其内部碎片粒子成 份、密度分布及能量状态将表现出其独特的行为 用蒙特卡罗模拟方法，对氮气辉光放电等离子体的重粒子 .