热蒸发与离子束溅射制备蕴葬云薄膜的光学特性-中国光学.PDFVIP

第苑卷摇 第缘期 摇 摇 摇 摇 摇 摇 中国光学摇 摇 摇 摇 摇 摇 摇 灾燥造援苑摇 晕燥援缘 摇 摇 摇 摇 摇 摇 摇 摇 摇 摇 圆园员源年员园月摇 悦澡蚤灶藻泽藻韵责贼蚤糟泽摇 摇 韵糟贼援圆园员源 文章编号摇 圆园怨缘鄄员缘猿员渊圆园员源冤园缘鄄园愿园愿鄄园愿 热蒸发与离子束溅射制备蕴葬云 薄膜的光学特性猿 鄢 才玺坤 袁张立超袁梅摇 林袁时摇 光 渊中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室袁吉林长春员猿园园猿猿冤 摘要院研究了钼舟热蒸发工艺和离子束溅射方法制备的单层 蕴葬云 薄膜的特性遥 首先袁采用分光光度计测量了蕴葬云 薄膜猿 猿 的透射率和反射率光谱袁使用不同模型拟合得出薄膜的折射率和消光系数遥 然后袁采用应力仪测量了加热和降温过程中 蕴葬云猿薄膜的应力原温度曲线遥 最后袁采用载射线衍射仪测试了薄膜的晶体结构遥 实验结果表明袁热蒸发制备的蕴葬云 渊砸匀猿 原源 蕴葬云猿 冤存在折射率的不均匀性袁在员怨猿灶皂袁其折射率和消光系数分别为员郾远愿苑和缘伊员园 袁而离子束溅射制备的蕴葬云 渊陨月杂猿 原源 蕴葬云猿 冤折射率和消光系数分别为员郾苑员源和怨伊员园 遥两种薄膜表现出相反的应力状态袁砸匀蕴葬云 薄膜具有张应力袁而陨月杂猿 蕴葬云猿具有压应力袁退火之后其压应力减小遥 热蒸发制备的 酝早云 辕蕴葬云 减反膜在 员怨猿灶皂透过率为怨怨郾源豫袁反射率为圆 猿 园郾园源豫袁离子束溅射制备的粤造云猿辕蕴葬云 减反膜透过率为怨怨郾圆豫袁反射率为园郾员豫遥猿 关摇 键摇 词院薄膜曰蕴葬云猿 曰热蒸发曰离子束溅射曰应力曰减反膜 中图分类号院韵源愿源援源员摇 摇 文献标识码院粤摇 摇 凿燥蚤院员园援猿苑愿愿辕悦韵援圆园员源园苑园缘援园愿园愿 韵责贼蚤糟葬造责则燥责藻则贼蚤藻泽燥枣蕴葬云 贼澡蚤灶枣蚤造皂泽责则藻责葬则藻凿遭赠贼澡藻则皂葬造 猿 藻增葬责燥则葬贼蚤燥灶葬灶凿蚤燥灶遭藻葬皂泽责怎贼贼藻则蚤灶早 鄢 悦粤陨载蚤鄄噪怎灶 袁在匀粤晕郧蕴蚤鄄糟澡葬燥袁酝耘陨蕴蚤灶袁杂匀陨郧怎葬灶早 渊杂贼葬贼藻运藻赠蕴葬遭燥则葬贼燥则赠燥枣粤责责造蚤藻凿韵责贼蚤糟泽袁悦澡葬灶早糟澡怎灶陨灶泽贼蚤贼怎贼藻燥枣韵责贼蚤糟泽袁云蚤灶藻酝藻糟澡葬灶蚤糟泽葬灶凿孕澡赠泽蚤糟泽袁 悦澡蚤灶葬粤糟葬凿藻皂赠燥枣杂糟蚤藻灶糟藻泽袁悦澡葬灶早糟澡怎灶 员猿园园猿猿袁悦澡蚤灶葬冤 鄢悦燥则则藻泽责燥灶凿蚤灶早葬怎贼澡燥则袁耘鄄皂葬蚤造院糟澡则蚤泽贼糟曾噪岳员圆远援糟燥皂 粤遭泽贼则葬糟贼院栽燥皂藻藻贼贼澡藻则藻择怎蚤则藻皂藻灶贼泽枣燥则凿蚤枣枣藻则藻灶贼责则葬糟贼蚤糟葬造葬责责造蚤糟葬贼蚤燥灶泽袁憎藻蚤灶增藻泽贼蚤早葬贼藻贼澡藻责则燥责藻则贼蚤藻泽燥枣泽蚤灶早造藻 蕴葬云猿 造葬赠藻则凿藻责燥泽蚤贼藻凿遭赠则藻泽蚤泽贼蚤增藻澡藻葬贼蚤灶早酝燥鄄遭燥葬贼渊砸匀冤葬灶凿蚤燥灶遭藻葬皂泽责怎贼贼藻则蚤灶早渊陨月杂冤蚤灶贼澡蚤泽责葬责藻则援 云蚤则泽贼袁 贼则葬灶泽皂蚤贼贼葬灶糟藻葬灶凿则藻枣造藻糟贼葬灶糟藻泽责藻糟贼则葬燥枣蕴葬云猿 贼澡蚤灶枣蚤造皂泽憎藻则藻皂藻葬泽怎则藻凿遭赠葬灶哉灾鄄增蚤泽蚤遭造藻泽责藻糟贼则燥责澡燥贼燥皂藻贼藻则袁 葬灶凿贼澡藻则藻枣