一种高精度三维小角度同时测量方法.pdfVIP

第 4O卷 中 国 激 光 光学前沿—一光电技术 2013年 l2月 CHINESEJOURNALOFLASERS 专 刊 一 种高精度三维小角度同时测量方法 翟玉生 张志峰 苏玉玲 冯其波 郑州轻工业学院技术与物理系，河南 郑州 450002、 。北京交通大学理学 院，北京 100044 ／ 摘要 提 出了一种 以单个直角棱镜为敏感元件的三维小角度 同时测量方法 。准直光束垂直入射到镀有分束膜 的 直角棱镜的斜边面，其反射光束产生 2倍于俯仰和偏摆角的偏向，由四象限探测器 QD 接收，可实现俯仰和偏摆角 测量 ；透射光束经直角棱镜反 向折 回，其方向也发生 2倍于俯仰角的偏 向，同时产生包含滚转角信息的平移 ，此光 束 由另一四象限探测器 QDz接收，利用两个四象限探测器差分测量可实现滚转角测量，并避免了误差串扰，同时增 强了抗干扰能力 。通过理论分析及实验验证了方法的可行性，在设定参数下 ，偏摆、俯仰角和滚转角测角分辨率可 分别达到约 0．1”和 0．3，测角精度约为 1”和 2。 关键词 测量 ；三维角度 ；激光准直 ；直角棱镜 中图分类号 TN247 文献标识码 A doi：10．3788／CJL2o1340．s108002 A High-PrecisionM easurementMethodforSimultaneous M easurementofThree．DimensionalSmallAngles ZhaiYusheng ZhangZhifeng SuYuling FengQibo DepartmentofTechnologyandPhysics．ZhengzhouUniversityofLightIndustry， Zhengzhou ，Hunan 450002，China Schoolof Science，BeijingJiaotongUniversity，Beijing100044。China Abstract A novelhigh--precisionmeasurementmethodforsimultaneouslymeasuringthree—-dimensionalsmallangles ispresented． The collimated beam isnormally incidentupon the hypotenuse—surface of rectangular—prism with splittingfilm ．Thedisplacementsofthereflectionbeam andtransmittedbeam aremeasuredbyquadrantphotoelectric detectorsQDlandQD2，respectively．Thedirectionchangeofthereflectionbeam isdoublethatofyawandpitchand thedirectionchangeofthe transmittedbeam isdoublethatofpitch．Sothedisplacementintroducedby rollcanbe measuredbydifferentialmeasurementbasedontwoquadrantphotoelectricdetectors．Thismethodcanavoidcrosstalk ofstraightnesserrors，yaw andpitcherrorsandenhancetheanti-interferenceabilityofthesystem ．Feasibilityofthe methodiSverified