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半导体集成电路工艺 jiant@njupt.edu.cn 蹇彤 办公室：教3－500（11） 2017-11-16 1 教材: “硅集成电路工艺基础” 关旭东编著 北京大学出版社 参考书: 芯片制造——半导体工艺制程实用教程 (第四版), 电子工业出版社，2004； 半导体制造工艺基础 (美) 施敏,梅凯瑞 著, 安徽大学版社 微电子制造科学原理与工程技术 (第二版) (美) Stephen A. Campbell 著, 电子工业出版社 硅超大规模集成电路工艺技术-理论、实践与模型 (美) James D. Plummer, Michael D. Deal, Peter B. Griffin 著, 电子工业出版社 2017-11-16 2 成绩计算：平时成绩（出勤和作业）30％＋期终考试70％ 请假需有辅导员签名！不交作业，扣分！！ 教学内容 介绍半导体制造工艺的主要技术，重点以硅集成电路工艺中的CMOS工艺为主，内容涉及芯片制造中的每一个主要的工艺环节，章节围绕应用于半导体制造的主要技术来安排。 2017-11-16 3 教学目的 1、掌握用于制造半导体器件的基本工艺技术。 2、了解集成电路芯片制造技术中的许多挑战中 的一部分。 3、了解半导体制造的概念化的简单评价。 2017-11-16 4 教学计划 2017-11-16 5 第一讲 绪论 第二讲 芯片的加工环境和 衬底材料 第三讲 制造工艺及主要流程1 第四讲 制造工艺及主要流程2 第五讲 热氧化1 第六讲 热氧化2 第七讲 扩散1 第八讲 扩散2 第九讲 离子注入1 第十讲 离子注入2 第十一讲 薄膜淀积原理 第十二讲 化学气相淀积1 第十三讲 化学气相淀积2 第十四讲 光刻1 第十五讲 光刻2 第十六讲 总结及复习 §0.1 引言 二十世纪初的技术革命： 从机械技术派生出的产品到集成电子技术产品 半导体产业是这场技术革命的中心，半导体则是贯穿整个社会电子产品的要素。 2017-11-16 7 集成电路的意义 美国工程技术界评出的20世纪最伟大20项工程技术成就中第五项电子技术谈到，“从真空管到半导体、集成电路已成为当代各行各业智能工作的基石” 2017-11-16 8 集成电路大大改变了人类生产、生活、工作方式； 知识经济的支柱产业——微电子产业和科学技术对经济发展有着重要作用，成为一个国家和地区实力的重要标志； 对国民经济的贡献率：集成电路对国民经济的贡献率远高于其他门类的产品。 以单位质量钢筋对GDP的贡献为1计算小汽车为5，彩电为30，计算机为1000，集成电路的贡献率高达2000 有人认为谁控制了超大规模集成电路技术，谁就控制了世界产业。 2017-11-16 9 电子学 vs. 微电子学 电子学(Electronics) 研究用电子传输、存储、处理信息的学科； 核心——电路 2017-11-16 10 微电子学(Microelectronics)：微型电子学 研究在固体（主要是半导体）材料上构成微小型化器件、电路及系统的电子学分支学科； 脱胎于电子学和固体物理学的边缘性的技术学科 核心——集成电路 微电子学研究领域 半导体材料 半导体器件 集成电路工艺 集成电路设计: 电路 集成电路测试 … 2017-11-16 11 微电子技术 是利用微细加工技术，基于固体物理、 器件物理和微电子学理论的方法，在半导体 材料上实现微电子器件和集成电路的一门技 术。 2017-11-16 12 分立电路 vs. 集成电路 分立电路：将晶体管、二极管等有源器件和电阻、电容等无源器件在电路板上连接起来，实现一定的电路功能。 2017-11-16 13 微电子学(Integrated Circuit，缩写IC) 将晶体管、二极管等有源器件和电阻、电容等无源器件，按照一定的电路互连，集成在同一半导体材料（如硅或砷化镓）上； 通过一系列特定的加工工艺来集成； 封装在一个外壳内； 执行一定的电路功能； 单片集成电路 vs.混合集成电路 单片集成电路 电路中所有的元器件都制作在同一块半导体基片上的集成电路； 最常用的半导体材料是硅和GaAs等； 半导体工艺技术； 2017-11-16 14 单片集成电路 vs.混合集成电路 2017-11-16 15 混合集成电路（二次集成IC） 半导体芯片(集成电路、晶体管等)、片式无源元件(电阻、电容、电感、电位器等)集成在带有互连金属化层的绝缘基板(玻璃、陶瓷等)，构成更复杂的功能器件，封装在管壳中，作为整体使用； 混合集成电路工艺和微细加工技术 厚膜集成电路：用丝