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- 约 4页
- 2018-05-09 发布于福建
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文章编号:1001—9944(2013)11—0044—04
PLC冗余控制在超纯水控制系统中的应用
张凤西 ,郑 萍 ,吴 晨 ,冯济武 2刘 江
(1.西华大学 电气信 息学院,成都 610039;2.成都京东方光电科技有限公司,成都 611731)
摘要 :针 对某TFT(thinfilm transistor)一LCD厂超 纯水制造 系统工 艺需求 ,采用分布式I/0
和S7—400H的集中监控 的方式进行 了控 制 系统设计 .在此基础上选择 了基 于S7—400H的硬
件冗余方式进行 系统的冗余设计 ,并给 出了主机架 电源冗余 、PLC处理器 冗余 、通信 冗余
(包括通讯接 口、总线接头、总线 电缆 的冗余)等方面的冗余配置与设计 ,保证 系统的可靠
性和稳定性。经过4年 的安全运行证 明该 系统完全满足 设计要 求。
关键词 :超纯水处理 ;冗余 ;组态;架构
中图分类号 :TP278 文献标志码 :B
PLC Redundancy ControlApplication in UltrapureW aterControlSystem
ZHANG Feng·xi,ZHENG Ping,WU Chen,FENG ji—WU,LIU Jiang
(1.School of Electrical and Information Engineering,Xihua University,Chengdu 610039,China;2.BOECD,Chengdu
611731,China)
Abstract:FortherequirementsoftheTNF(thinfilm transistor)一LCD factoryultrapurewatermanufacturingsystem,the
distributed I/O and S7—400H wayofcentralized monitoring wasused to design the controlsystem.on the basisof
thischoice,weadopt$7-400H hardwareredundancytoensurethereliability and stabilityofthesystem ,and presents
themainflamepowersupplyredundancy,PLC processorredundancy,communicationredundancy(includingcommunica—
tioninterface,thebusconnector,buscableredundancy)andotheraspectsofredundantconfigurationanddesigntoen—
suresystem reliability and stability.After4 years ofoperation,Itproved thatthesystem completely meetsthe design
requirements.
Keywords:ultrapurewatertreatment;redundancy;confi guration;architecture
某公司生产 的TFT—LCD一期产量达 3万片/ 求不断提高 ,RO一混床技术成为当今最新最成熟 的
月 .生产量大 .TFT—LCD的生产工艺 中需要用超纯 超纯水制备技术。与之相匹配的超纯水控制系统也
水冲洗基板和配置化学品.超纯水的供水需求达 变得越来越复杂 ,庞大。超纯水控制系统 由最初 的
230m3/h 其产水量和水质直接关系 TFrr—LCD的生 DCS系统发展成为采用 PLC的现场总线技术 ,分布
产量和产品良率。 式集 中控制技术和上位监控技术结合 的综合性控
早期超纯水要求不高 ,制备主要采用离子交换
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