多晶硅还原炉的电器设备.pdfVIP

摘 要：目前，国际上 多晶硅的生产，工艺大多采用改 良西门子法，其关键设备为还原炉：本文介绍了国内常用的 12对多 晶硅棒还原炉之国产主要电器设备，并根据多晶硅生产的流程和工艺，说明选择这些电器设备参数的原则和依据，着重介绍了 生产 电子级多晶硅用的高压启动方式 ，以及可控硅调功器 “拼波”的原理 、 关键词：多晶硅：还原炉：电器设备 中图分类号：TM42 文献标识码 ：A 文章编号：1001—90()6(2010)03—0062—07 ElectricalEquipmentsOfPolysiliconReductionFurnace LIShi——zhen (Don出ngElectri~、alAuto((ntrolEngineeringCo．，Ltd．，618000．Deyang．Siehuan，China) Abstract：Currently，modifiedSiemensprocessandreductionfl~rnace3reextensivelyusedinpolysiliconproductionworldwide．Inthis paper，adomesticelectricalsystem isdesf。ril)edwhichcanhoht12polysiliconrodsandisverycommoninChina．Next．principleof parametersofelec[ricalequipmentsisdiscussedbased()nthepolysiliconproductionprocessesandtechniques．Itisrepresentedindetails thatstart)nodewithhigh—voltf0rtheproduction()felectronicgradepolysilicon．Andasteplessvohageregulaliontechniqueisconsideredas wellwhirhisbasedonthethem3ofVohageSequenceControl(VSC)． Keywords： polysiliconproduction；reductionfurnace；elect)ic‘alequipments 伴随着全球节约能源、减排二氧化碳的潮流， 硅的方法：该生产方法的原料是三氯氢硅和氢气。 近年来，我国多晶硅生产方兴未艾 。 在温度为 l050～1150℃时，三氯氢硅与氢气 多晶硅是制造光 ／伏发 电的太 阳能电池片的基 在还原炉 内主要发生下列反应121： 础材料 。同时，以电子级多品硅为原料生产的单 SiHCI3+H2=Si+3HCI 晶硅是电子信息产业的基础材料 ，是生产大规模 这是一种氢还原反应。 集成 电路 、半导体分离元件 、电力 电子器件 的原 1．2 还原炉生产多晶硅 材料。 近年来 ，国内大规模多晶硅生产 ，还原设备 1 多晶硅生产概述 多采用 12对棒的还原炉。 1．1 三氯氢硅氢还原法 12对棒还原炉将炉内硅芯f硅棒)分为 3个区域： 目前国际上多品硅生产T艺有 70％以上采用 内环、外环 1、外环 2 每个区域都有4对多晶硅 改 良西门子法¨I。 棒。 所谓西门子法，也被称作三氯氢硅氢还原法 ， 正在还原炉内生长的多晶硅硅棒照片示于图 1。 是一种在还原炉 内通过发生化学反应来生成多晶 收稿 日期 ：2010—2—10 作者简介：李世振(1947一)，男，高级J二程师。1968年至 2007年在东方电机厂从事水轮机调速器调试、发电机励磁系统tRit+工作， 200