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第五节 真空元件 真空系统一般由真空发生器(真空压力源)、吸盘(执行元件)、真空阀(控制元件,有手动阀、机控阀、气控阀、电磁阀)及辅助元件(管件接头、过滤器和消声器等)组成。有些元件在正压系统和负压系统中是能通用的,如管件接头、过滤器和消声器及部分控制元件。 第五节 真空元件 1.真空发生器 图6-69 典型真空回路1、2—过滤器 3—减压阀 4—压力表 5—电磁阀6—真空发生器 7—消声器 8—真空消声器9—真空压力开关 10—真空压力表 11—吸盘 12—工件 第五节 真空元件 1)结构简单,体积小,使用寿命长。2)产生的负压力(真空度)、流量大,但可控、可调,稳定可靠。3)瞬时开、关特性好,无残余负压。4)同一输出口可使用负压或交替使用正、负压。(1)工作原理 图6-70所示为真空发生器的工作原理图。 图6-70 真空发生器的工作原理图1—喷嘴 2—接收室 3—混合室 4—扩散室 第五节 真空元件 图6-71 VAD普通真空发生器a)结构 b)图形符号 第五节 真空元件 (2)结构1)普通真空发生器 图6-71所示为VAD普通真空发生器,P口接气源,R口接消声器,U口接真空吸盘。 第五节 真空元件 2)带喷射开关的真空发生器 一般真空吸盘吸持工件后,要放掉工件就必须使吸盘内的真空消除。 第五节 真空元件 3)组合真空发生器 真空发生器常与电磁阀、压力开关和单向阀 图6-72 带喷射开关的真空发生器a)结构 b)图形符号1—喷嘴 2—阀芯(喷射开关) 3—气室 4—阀座B—通道 C—混合室 第五节 真空元件 等真空元件构成组件,便于安装使用。 图6-73 VADM组合真空发生器a)结构 b)图形符号1—进气口 2—真空口(输出口) 3—排气口 第五节 真空元件 图6-74 带喷射开关、内置单向阀的VADMI组合真空发生器—供气电磁阀 —喷射开关电磁阀1—进气口 2—真空口 3—排气口 第五节 真空元件 (3)主要性能1)耗气量 真空发生器的耗气量是由工作喷嘴直径决定的。 图6-75 VADM、VADMI组合真空发生器耗气量与工作压力之间的关系曲线 第五节 真空元件 2)真空度 图6-76所示为真空度特性曲线。 图6-76 真空度特性曲线 3)抽吸时间 抽吸时间表征了真空发生器的动态指标, 第五节 真空元件 表示在工作压力0.6MPa时抽吸1L容积空气所需的时间。2.真空吸盘(1)结构 图6-78所示为常用吸盘的结构。 图6-77 抽吸时间 第五节 真空元件 图6-78 真空吸盘a)圆形平吸盘 b)波纹形吸盘 第五节 真空元件 图6-79 真空吸盘的连接1—活塞杆 2—吸盘 第五节 真空元件 (2)性能 真空吸盘的外径称为公称直径,其吸持工件被抽空的直径称为有效直径。 第五节 真空元件 表6-3 VAS型真空吸盘的主要性能参数 公称直径/mm 8 15 30 40 55 75 100 125 有效直径/mm 5.5 12 25 32 44 60 85 105 理论吸力/N(真空度0.07MPa) 1.6 7.9 34 56 106 197 397 606 第五节 真空元件 图6-80 理论吸力与真空度之间的关系 第五节 真空元件 图6-81 真空吸盘的安装位置a)水平安装 b)垂直安装 第五节 真空元件 3.其他真空元件(1)真空电磁阀 真空电磁阀与普通电磁阀在结构、工作原理方面基本相同,区别仅在于其密封。 第五节 真空元件 第五节 真空元件 (2)真空安全阀 真空安全阀能确保在一个吸盘失效后, 图6-82 同时使用多个真空吸盘的真空系统1—真空发生器 2—分配器 3—真空安全阀4—吸盘 5—高度调整件 第五节 真空元件 仍维持系统的真空不变。(3)真空顺序阀 图6-84所示为VUV真空顺序阀。 图6-83 ISV真空安全阀的结构和图形符号a)结构 b)图形符号 第五节 真空元件 图6-84 VUV真空顺序阀 第五节 真空元件 图6-85 真空顺序阀的应用1—真空发生器 2—工件 3—吸盘 4—真空顺序阀 5—基本阀 6—控制阀 第五节 真空元件 (4)气-电信号转换器 真空气-电信号转换器的结构、工作原理与普通气-电信号转换器的是一样的,只是控制口的真空信号吸上膜片(而不是压下膜片),驱动微动开关动作,有电信号输出,其他电气性能要求与普通气-电信号转换器相同。 第五节 真空元件 表6-4 一种VPE电-气信号转换器的电气负载性能 DC AC 电压/V 阻性负载/A 感性负载/A 电压/V 阻性负载/A 感性负载/A 122460110220 6610.50.25 660.50.20.1 250 6 2
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