太赫兹量子级联激光器及其光束表征技术.PDFVIP

第 11 卷 第 1 期 太赫兹科学与电子信息学报 Vo1．11，No．1 2013 年 2 月 Journal of Terahertz Science and Electronic Information Technology Feb．，2013 文章编号：2095-4980(2013)01-0021-05 太赫兹量子级联激光器及其光束表征技术 谭智勇，曹俊诚 ( 中国科学院 上海微系统与信息技术研究所太赫兹固态技术重点实验室，上海 200050) 摘 要 ：简要介绍太赫兹量子级联激光器(THz QCL) 的工作原理及其进展。研究多个器件输出 激光的光束质量，分别采用热探测器阵列和 THz 量子阱探测器(THz QWP)表征连续激射和脉冲激射 THz QCL 激光的光束图形，对比分析不同热探测器阵列对 THz 激光的表征能力，比较热探测器阵 列和 THz 照相机对平行 THz 激光表征的差异。分析光束改善后 THz 激光光斑的尺寸、二维强度分 布等特点，根据对 THz QCL 输出激光的改善效果，给出采用外部手段改善 THz QCL 激光光束的几 种方法。研究表明，除了采用精细的波导工艺之外，锗(Ge)透镜、超半球高阻硅透镜和聚乙烯透镜 都是外部改善技术中很好的手段。 关键词 ：太赫兹；量子级联激光器；光束表征；量子阱探测器；热探测器阵列 中图分类号 ：TN248.4 ；O432.1+2 ；O482.31 文献标识码 ：A Terahertz Quantum-Cascade Laser and its beam pattern characterization TAN Zhi-yong，CAO Jun-cheng (Key Laboratory of Terahertz Solid -State Technology ，Shanghai Institute of Microsystem and Information Technology， Chinese Academy of Sciences，Shanghai 200050，China) Abstract： The principle and recent progress of the Terahertz Quantum -Cascade Lasers(QCL) are briefly introduced. The beam quality of different THz QCLs is studied. Beam patterns of continuous wave and pulse modes emitting devices are characterized by employing thermal detector arrays and THz Quantum-Well Photodetector(THz QWP), respectively. The detecting abilities of different arrays are compared and analyzed, and the differences in THz light characterizing between the array and THz camera are also compared. According to the results of the beam improvements, some methods of be