磁流体辅助抛光工件表面粗糙度研究-光学精密工程.pdfVIP

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2017-11-24 发布于天津
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磁流体辅助抛光工件表面粗糙度研究-光学精密工程.pdf

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磁流体辅助抛光工件表面粗糙度研究-光学精密工程

第卷第期光学精密工程 ! ! ! 5267! 827! ! ! !!!!!!!! ()*+,-./01*)+)2-3- )-110)- !!!!!!!! 年月 ! ’ 4 4 #$$% # 91:7#$$% ! ! ! ! 文章编号 ! !$$;@#A #$$%$!;$$;$ ! 磁流体辅助抛光工件表面粗糙度研究张峰!张斌智 ! 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所光学技术研究中心!吉林长春 # !$$ 摘要!给出了磁流体辅助抛光的机理#以及依据方程建立的磁流体辅助抛光的数学模型$并通 /01+(2- 过实验详细研究了磁流体辅助抛光后工件的抛光区形状#以及抛光区内表面粗糙度情况$最终加工出了表面粗糙度为 ! 值的光学元件#其高频表面粗糙度达到 ! 值#满足了对一 $7?-F 0F+ $7?!-F 0F+ 定短波段光学研究的要求$结果表明%磁流体辅助抛光可以用于对光学元件进行超光滑加工在磁流体辅助抛光过程中#较大粒度的磁流体抛光液有利于工件表面粗糙度快速降低#较小粒度的磁流体抛光液可以获得更加光滑的光学表面$ 关键词!磁流体辅助抛光!磁流变抛光!抛光区!超光滑表面 ! ! 中图分类号! 文献标识码! JG!! K !! ?D,(./,’D)##’(’ 0$/.55C0#(.+,$/.0-+ % 3 * C.0$/(5D$-2.##$#0- ’5$#)$ % 3 % # NGK8M 91- NGK8M W)-;BO) 4 ! # # . ’0%7)08$*=* H)%)2-08C)$)- C82$ 08($#$%’()* . ’0% E’$)+)082$’0% / @6 @ ! / # # #