超精密气浮式电容传感器系统.PDFVIP

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2018-12-13 发布于天津
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21 5 JOU RNAL OF NATIONAL UNIVERSITY OF DEFENSE T ECHNOLOGY Vol. 21 No. 5 1999 X 戴一帆　王新峰　吴宇列 ( 410073) , , , , , 702 T H Ultraprecision Air Bearing Capacitive Sensor System Dai YifanWang Xingfang Wu Yulie (Department of Mechatronic sand Instrumentation, NUDT , Changsha, 410073) . Abstract Thi spaper present san ultraprecision air bearing capacitive sensor with high resolution It combine sthe air bearing gauge head with a square guideway with the microminiature capacitive sensor , ensuring high accuracy and high frequence response It uitable for ultraprecision contact measurement. Key words air bearing gauge head, contact measurement, capacitive sensor , , 0. 01Lm 0. 005Lm , , , , , , , , , , , ( ) , 0. 03Lm, 0. 01Lm 1 , , , , , 10mm 10mm , , , , 1 , ( ) ( ) X 1999 3 1 : , , 1965 , 92 1999 5 , , 1Lm , 0. 1g, 1020Lm ( ) 1Lm , , , , , 1 , , Fig. 1The aerostatic sguide , , SMC , 2 , , , , , , , , ( , , , , ) , , 2 2 Fig . 2T he composition of measure system , , , , , , , , ( 1, 2, 3, 4 ) : c c c c + + ( 1) 1 1 1 d = c1 + c2 + c3 2 + c 4 3