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真空镀膜设备探究进展和展望 　　[摘 要] 近年来，随着人们对表面工程的追求，表面工程这门新兴学科在国内外得到了很好的运用，实践证明，镀膜的运用使设备、工具的表面性能得到了有效的提高，提高了生产力，节约了能源。本文主要对几类新型工具镀膜技术的基本原理和特点进行了概述，同时针对我国的可持续发展，发展绿色环保型镀膜技术，对进一步开发新型镀膜技术设备提出了几点供人们思考。 [关键词] 多功能；真空；离子镀；多层镀；绿色环保； 中图分类号：O6-335 前言：随着人类文明的进步和人类认识的提高，工具镀膜，作为离子镀膜技术的一项很主要的应用，其重要性已逐渐被人们所认知，随着镀膜设备的应用和发展，镀膜技术收到了非常好的效果，同时也对取代污染严重的传统水电镀技术研究拓宽了新的思路。如何更好地推进工具镀膜各项技术的发展，也对人们提出了新的要求和挑战，同时也对这项应用技术的发展有了更多方面的想象和思考。 一、新型工具镀膜设备技术的发展 1、多层复合真空离子镀膜设备 进入90年代以来， 随着多弧―磁控溅射多功能镀膜设备的研制成功，为后来多层复合真空离子镀膜技术的应用和发展打下了良好的基础，随着社会的不断发展以及人们对镀膜要求认识的不断提高，多层复合镀膜技术应用于产品更加被人们所重视， 通过利用TiN良好的韧性来作为过度间隔层， 将原有的结构由单层变成多层， 提高了镀