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应用于3376及以下节点的极紫外光刻胶研究进展-科学技术与工程.PDFVIP

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  • 2017-12-22 发布于天津
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应用于3376及以下节点的极紫外光刻胶研究进展-科学技术与工程.PDF

    应用于3376及以下节点的极紫外光刻胶研究进展-科学技术与工程

    第 卷第 期 年 月 科 学 技 术 与 工 程 电子技术通信技术 应用于 及以下节点的极紫外光 刻胶研究进展 鹿国庆 吴义恒李伶俐 卢启鹏 安庆师范学院物理与电气工程学院 安庆 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室 长春 摘要 极紫外光刻是最有希望用于 及以下节点的下一代光刻技术光刻胶的性能与工艺是其关键技术之

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