高精度大功率压电陶瓷驱动关键技术.pdfVIP

第35卷第6期 压 电 与 声 光 V0I．35No．6 2013年12月 PIEZOELECTRICS ＆ ACOUST00PTICS Dec．2O13 文章编 号 ：1004—2474(2013)06—0853—05 高精度大功率压 电陶瓷驱动关键技术 赵碧杉 ，尹达一 ，曾 攀 ，周 青 (1．中国科学 院 上海技术物理研究所 ，上海 200083；2．中国科学院大学 ，北京 100039) 摘 要 ：压 电陶瓷驱动 电源是压 电陶瓷微位移系统中的关键部件 。以高压功率放大器 PA93为核心，提出了一 种新型高精度、大功率压 电陶瓷驱动 电源 ，适合驱动大行程、大推力压 电陶瓷致动器。重点阐述了电路的设计方 案，对复合放大电路进行了特性分析。实验结果表明，该驱动电源具有精度高，输出电压高，电流大，稳定性好的特 点。当驱动等效负载 电容为 24 F的压电陶瓷时，在 O～100Hz频率范围内实现了O～1OV信号