传感器技术与应用宋德杰电子课件第12章节湿度检测传感器及应用案例.pptVIP

尚辅网 / 第12章 湿敏传感器及其应用案例 12.1 湿度检测概述 12.2 电阻式湿敏传感器 12.3 电容式湿敏传感器 12.4 空气湿度检测控制案例 返回主目录 12.1 湿度检测概述 湿度与工农业生产、国防、科研以及人类的日常生活息息相关，随着人类的进步和发展，湿度的重要性也越发凸显。为了保证生产环节和设备处在良好的环境中，对空气湿度进行测量及控制，使环境适应工农业生产、国防、科研以及人类日常生活的需要是今后发展的必然。 一、湿度的描述方法 湿度一般是指大气中水蒸气的含量，通常用绝对湿度和相对湿度来表示。有时也用比湿和露点来表示。 绝对湿度是指在一定的温度条件下，单位体积气体中所含水蒸气的质量，单位是g/m3。一般用符号AH表示。 相对湿度是指被测气体的绝对湿度和同一温度条件下达到饱和状态的绝对湿度之百分比，一般用符号RH表示。 由于水的饱和蒸气压是随着温度的降低而降低的，当温度下降到某一温度时，其水蒸气压与同温度下的饱和蒸气压相等，此时空气中的水蒸气将向液态转化而凝结为露珠，此时相对湿度为100%，这个特定的温度就称之为露点。 二、湿度检测传感器的分类 第一类是电阻式湿敏元件，它是利用水分子有较大的偶极矩，易于附着并渗透入固体表面的特性制成的湿敏电阻。 第二类是电容式湿敏元件，它是利用水分子附着后材料长度发生变化而制成尺寸变化式的湿敏元件。 第三类是除了电阻式和电容式以外的所有湿度检测传感器，比如光纤湿度传感器、超声波湿度传感器和微波湿度传感器等等。 用来检测空气中湿度大小的传感器叫做湿度传感器。湿度传感器的品种繁多，按其结构分类，可分为电阻式、电容式和其他式三类。 12.2 电阻式湿度传感器 一、氯化锂湿敏电阻 氯化锂湿敏电阻是利用吸湿性盐类潮解，离子电导率就发生变化的原理而制成的测湿元件，它由引线、基片、感湿层、金电极四部分组成。其结构示意图如图12-1所示。 图12-1(a) 氯化锂湿敏电阻结构示意图 通常氯化锂和聚乙烯醇组成混合体，它的特点是： 在氯化锂（LiCl）溶液中，Li和Cl均以正负离子的形式存在，而Li+对水分子的吸引力强，离子水合程度高，其溶液的导电能力与溶液中离子数量成正比。 当氯化锂溶液置于一定温湿场中，如果环境的相对湿度高，则溶液将吸收水分，使溶液中离子数目增多，导电能力增强，故溶液的电阻率降低。如果环境的相对湿度低，则溶液中离子数目少，其电阻率增加。 图12-1(b) 氯化锂湿度——电阻特性曲线 氯化锂湿敏元件的相对湿度——电阻特性曲线如图12-1(b)所示。 由图可知，在50%~80%的相对湿度范围内，氯化锂的电阻与相对湿度成线性关系。为了扩大线性范围，通常采用将多个氯化锂含量不同的器件组合使用。如将线性测量范围分别为（10%~20%）RH、（20%~40%）RH、（40%~70%）RH、（70%~90%）RH和（90%~99%）RH五种元件组合使用，就可完成整个湿度范围内的相对湿度测量。 氯化锂湿度敏感元件具有滞后小、不受测试环境风速的影响、检测精度高达±5%等优点，其缺点是耐热性差、不能用于露点以下测量、器件性能重复性差、使用寿命短。 二、半导体陶瓷湿敏电阻 半导体陶瓷湿敏电阻通常是有几种金属氧化物混合烧结而成的多孔陶瓷。这些多孔陶瓷的电阻率有的随湿度增加而减小，有的随湿度增加而增大。通常把随湿度增加电阻率减小的称作负特性湿敏半导体陶瓷，而把随湿度增加电阻率增大的称作正特性湿敏半导体陶瓷。 1. 负特性湿敏半导体陶瓷的导电机理 由于水分子中的氢原子具有很强的正电场，当水在半导体陶瓷表面附着时，就可能从半导体陶瓷表面俘获电子，使半导体陶瓷表面带负电，相当于表面电势变负。 2. 正特性湿敏半导体陶瓷的导电机理 对于阻值随湿度增加而增大的这类正特性湿敏半导体陶瓷的导电机理，是由于这类材料的结构，电子能量状态与负特性有所不同所致。 3. 半导体陶瓷湿敏电阻的优点： ① 测度范围宽，基本上可以实现全湿范围内的湿度测量； ② 工作温度范围宽，常温湿敏电阻的工作温度在150℃以下，而高温湿敏电阻的工作温度可达800℃； ③ 响应时间短，精度高，工艺简单，成本低等。 4. 典型半导体陶瓷湿敏元件 半导体陶瓷湿敏元件大多数为湿敏电阻。除了烧结性Fe3O4湿敏电阻外，都是负特性湿敏电阻，即随着环境相对湿度的增加电阻值降低。目前，典型的半导体陶瓷湿敏元件主要有下面几种。 （1）MgCr2O4-TiO2陶瓷湿敏元件 MgCr2O4-TiO2半导体陶瓷湿敏元件一般