洁净室及相关受控环境 第3部分检测方法14644 .docVIP

洁净室及相关受控环境 —— 第3部分： 洁净室及相关受控环境 第3部分：检测方法 目 次 前言 引言 1 范围 2 引用标准 3 术语与定义 3.1 概述 3.2 空气悬浮粒子测量 3.3 空气过滤器与系统 3.4 气流 3.5 静电测量 3.6 测量仪器与测量条件 3.7 占用状态 4 检测方法 4.1 洁净室检测 4.2 原理 5 检测报告 附件A（资料） 各种检测的选择和实施顺序 附件B（资料） 检测方法 附件C（资料） 检测仪器 文献（略） 前 言 国际标准化组织（ISO）为全球各国标准化组织（ISO成员）的联合会，国际标准的编写工作由其下的各技术委员会进行。ISO的各个成员组织若对技术委员会的某个课题感兴趣，它就有权参加该技术委员会的工作。国际上凡与ISO保持联系的政府的或是非政府组织，均可参与此项工作。ISO在电气技术标准化的各项事宜中，与国际电气技术委员会（IEC）进行紧密合作。 国际标准草案是按照ISO/IEC指导条例第2部分的法则制定的。 技术委员会的主要任务是制定国际标准。国际标准草案由其技术委员会认可后送各会员团体进行传阅，以待表决。至少需要75%投票的会员团体投赞成票才可将草案作为国际标准颁布。 ISO 14644的这一部分中可能有些内容会涉及到专利权。I