曝光工艺流程.ppt

安規介紹 內层制程流程 曝光(Expose)原理 光致抗蚀剂曝光时的反应原理 曝光前 曝光后 定义： 从平行度(collimate)字面的意思就是使直向行进，而从光的眼光而言则是让光行进同时垂直于照射面。右图是平行光与非平行光之比较 量测方法及工具：　 一般量测平行度的方法是用一种叫平行度像机(Collimation Camera) 其量测方式是以此工具置于感光纸或感光物上曝光，之后再量偏移度其示意图如右图 ： 玛斯兰专案 内层曝光工艺流程 工艺部/内层组 何程 2008.11.28 开料 前处理 涂布 曝光 显影 蚀刻 去膜 OPE ＡＯＩ 利用油墨的感光性，透过紫外光照射，把板面油墨由单体变成聚合体. Artwork(底片) Artwork (底片) 曝光 菲林上透明部分有光線透过 菲林上黑色部分无光线透过 阻剂与紫光作用，单体变成聚合体 阻剂未与紫光作用，仍保持单体狀态 Photo Resist 曝光后： 　曝光(Expose)原理： 曝 光 工 藝 流 程 　　紫外光照射到感光抗蚀剂上，感光抗蚀剂中的光引发剂吸收了光能分解成游离基，游离基再引发光聚合单体进行聚合交联反应，反应后形成不溶于稀碱溶液的体型大分子结构。其中感光发生聚合交联反应的抗蚀剂会保护线路图形在后工序蚀刻时不被蚀刻掉，而未感光的抗蚀剂不会发生聚合交联反应，在后工序显影时会被稀碱溶液溶解下来而露出铜，露出的铜在蚀刻时会被蚀刻掉。 抗蚀剂感光聚合交联反应的方程式如下： R-COOH(感光树脂) 紫外光感光聚合 ICH2CHCOOR (不溶于稀碱的感光聚合物) 曝 光 工 藝 流 程 ? COOH COOH COOH COOH COOH COOH COOH COOH COOH COOH COOH COOH COOH UV O O O O × × × × × × × × 曝 光 工 藝 流 程 曝 光 工 藝 流 程 曝光作业条件是： A.溫度:20+2℃ 　　　　B.湿度:50+5% C. 室內灯光:黃色 D.无尘度：1万級以下 ＊ 室內灯光的安全光为紅橙黃三色，危险光为綠色光，非安全光為蓝靛紫白。理论上说，紅橙黃光下作业都可以，但考慮到顏色对人的情绪的影响，黃光是比较合适的。 ＊ 含尘量超标说明空间中粉尘、杂物多，板面上的落尘量亦会增加，对曝光的品质有较大影响，会导致产品线路开路、缺口、针孔、铜面蚀穿等不良缺陷的增多。 慨述 上、下各一張菲林，把基板夾在中間，兩面同時曝光的作业方法 Photo Resist PCB 菲林 作业方式:“三明治”曝光： 曝 光 工 藝 流 程 曝光异常图片 　 曝 光 工 藝 流 程 曝光异常图片 曝 光 工 藝 流 程 1．异常制程范围 重点改善制程用紅色框标示 曝光不良产生原因分析 退膜 开料 涂布 曝光 显影 蚀刻 前处理 曝 光 工 藝 流 程 2.在线性魚骨图分析 板面杂物胶渍 板边空心边 板边及圆角披锋 铜屑 涂布前输送轮 异物反粘 烤箱异物反粘 板面处理不干净 返洗板残膜处理不干净 异物反粘 曝光能量偏高 菲林折伤 保护膜起皱 膜上杂物、菲林凸起，露光 菲林（底片）挡光效果不佳 为何产生曝光不良 开　料 前处理 涂布 曝光 油墨过滤效果不佳 清洁不到位残留膜渣反粘 夹点积墨 曝 光 工 藝 流 程 曝光不良产生原因分析 曝 光 工 藝 流 程 曝光不良？ 3.在线性魚骨图分析 曝光不良产生原因分析 基板折伤折痕 底片折痕 保护膜起皱 赶气不当 油墨特性 导气条使 用不当 曝光参数设置错误 工作心态 培训不到位 制程能力 点检保养 设备 人員 方法 材料 曝 光 工 藝 流 程 品质异常排除 A.追蹤油墨刮傷之制程B.用21格調整曝光能量 C.菲林清潔 A.油墨板刮傷 B.曝光能量低 C.菲林上有臟物 開路、缺口 A.規範其操作動作,盡量減少不必要的搬運 B.注意機器傳動運轉情況 A.人為刮傷 B.機器刮傷 刮傷 A.修補或更換 A.菲林刮傷 残铜（凸铜) A.確認菲林對位完全OK方可生產 B.嚴格按操作規範進行操作 A.菲林對偏,漲縮 B.操作時板子沒放正 偏孔 A.用21格調整曝光能量 B.清潔菲林 A.曝光能量低 B.菲林上有臟物 針孔（