第二章 真空的获得.ppt

主要组件: 平行的不锈钢管阵列——阳极 平行钛或钽板——阴极 不锈钢外套 磁场 工作原理: 工作时阳极与阴极之间加3~7kV直流电压产生潘宁放电 利用化学吸附俘获气体分子 溅射离子泵——Ion pump 吸附泵 物理或化学分析方法所需的真空 * 2、机械泵 前面介绍的机械泵只能获得低真空(0.1Pa)，在真空系统中充当前级泵作用。 如果要获得高真空还需要一个主泵。广泛使用的获得高真空的主泵：扩散泵 和 分子泵。 二者均为 动量传递式真空泵。 油扩散泵的结构如示意图 泵的底部—是装有真空泵油的蒸发器，真空泵油经电炉加热沸腾后，产生一定的油蒸汽，蒸汽沿着蒸汽导流管传输到上部，经由三级伞形喷口向下喷出。喷口外面的压强较油蒸汽压低，于是便形成一股向出口方向运动的高速蒸汽流，气体分子扩散到蒸汽流中，油分子与气体分子碰撞，由于油分子的分子量大，碰撞的结果是油分子把动量交给气体分子自己慢下来，而气体分子获得向下运动的动量后便迅速往下飞去．并且，在射流的界面内，气体分子不可能长期滞留，因而界面内气体分子浓度较小．由于这个浓度差，使被抽气体分得以源源不断地扩散进入蒸汽流而被逐级带至出口，并被前级泵抽走．慢下来的蒸汽流在向下运动的过程中碰到水冷的泵壁，油分子就被冷凝下来，沿着泵壁流回蒸发器继续循环使用。冷阱的作用是减少油蒸汽分子进入被抽容器。 冷阱 Jaekel (亚开耳)模型 假设: 1) 自伞形喷嘴射出的射流,在喷嘴平面上各处流速的大小及方向均完全相等,并且在长度L的范围内也保持为常数; 2) 气体分子一旦落入蒸汽流中,即可获得向出口方向的动量,即不考虑分子与蒸汽碰撞时的反射; 3)蒸汽流的数密度远大于气体分子数密度; 1、压缩比 设: ω： 蒸汽流运动的速度； nd：在蒸汽流内单位时间单位面积上被往下抽的气体分子数； nu：在蒸汽流内单位时间单位面积上被往上反扩散回的气体分子数； D：蒸汽中气体分子的扩散系数； 与n值无关 1、压缩比 即压缩比 K 讨论： 1）压缩比 K1; 2) 若射流的流速和射流的长度愈大，以及气体分子扩散系数愈小，则喷嘴的压缩比愈高； 3） 前级压强一定时，K愈大，泵抽气后的极限压强愈低； 2、抽速 A： 喷嘴处环行的面积 喷嘴平面处经射流抽走的气体流量为： 考虑到：气体进入此环形面积时，截面对气流所呈现的孔眼流导，则在环行截面处的有效抽速为： 2、抽速 有效抽速 比抽速： 单位面积的抽速 讨论： 1) 理想情况下：ω→∞ ，H=1 ， ; 2) 实际情况下: H ≠ 1 (0.5~0.7)； 3) 较大的环形截面积、较高的何氏系数、以及大的进口管道，有利于获得高抽速； 讨论： 4) 抽速与压强的关系； 5) 抽速与压缩比、气体种类的关系； 6)极限压强与出口压强的关系； 7)扩散泵的油蒸汽返流； 扩散泵是利用气体扩散现象来抽气的。 分子真空泵是利用高速旋转的转子把动量传输给气体分子，使之获得定向速度，从而被压缩、被驱向排气口后为前级抽走的一种真空泵。这种泵具体可分为： 牵引分子泵 气体分子与高速运动的转子相碰撞而获得动量，被驱送到泵的出口。 涡轮分子泵 靠高速旋转的动叶片和静止的定叶片相互配合来实现抽气的。 复合分子泵 它是由涡轮式和牵引式两种分子泵串联组合起来的一种复合型的分子真空泵。 分子泵结构 最早利用动量传输作用来获得真空的是盖德型分子泵。这种泵中有一柱形高速转子，将气体分子从进气口“拖动”到出气口。但由于转子定子间允许的间隙很小(~0.1mm)，难于制造，50年代末期，出现了涡轮分子泵。 涡轮分子泵的工作原理 涡轮分子泵内装有许多动、静相间安排轮叶，每一轮叶上有许多斜置叶片。轮叶转动时有电风扇轮叶类似的作用，能将气体从一方抽向另一方。 碰撞于表面的分子，离开表面时获得了与表面速率相近的切向速率。这就是动置传输作用。 分子 υ 以速度υ 运动的壁 涡轮分子泵的工作原理 涡轮分子泵的工作原理 考虑一个轮叶，（并将轮叶拉直来看）侧视图如下 量化：旋转轮叶产生的抽速及压缩比 假设： 1）气体分子为分子流状态，与轮叶碰撞后按余弦分布； 2）气体分子温度和轮叶温度相同； 3）轮叶两侧的分子速率分布相同； 稳定平衡时： ① ② 轮叶两侧温度相等： 涡轮分子泵的工作原理 轮叶压缩作用产生的压缩比 讨论： 1) ：当H=0，零流量时， 2) ：当H=1，p1=p2时， 二者折中 3) ：静止轮叶的抽气能力与动轮叶相同； 4) ：何氏系数决定于轮叶的形状、转速、气体种类。 涡轮分子泵的特征 1) ：抽速与转速的关系： 2) ：抽速与进口压强的关系： 分子流时，抽速几乎不变