基于PSD的高精度光电定心仪.pdfVIP

第 35卷 第 1期 应 用 光 学 Vo1．35No．1 2014年 1月 JournalofAppliedOptics Jan．2014 文章编 号 ：1002—2082(2014)01—0007—04 基于PSD的高精度光电定心仪 张欣婷 。，安志勇 (1．长春理工大学 光 电工程学院，吉林 长春 130022；2．长春理工大学 光 电信息学院，吉林 长春 130012) 摘 要 ：针对 目前定心仪精度不高、并依赖于人眼的现状，提 出一种基于PSD的高精度定心仪研 究方法。采用 自准直光路形式和位置敏感探测器 PSD对经过被测 目标返回的光斑实行定位，并 通过读取计算机上的坐标值来判断是否达到准确的定心。文 中对定心仪的光学系统进行设计， 并运用神经网络的训练来校正PSD的非线性，在测量范围±2mm～±500mm 内定心精度达到 l “m 的设计要求。 关键词 ：光学设计 ；定心仪 ；高精度；PSD；非线性 中图分类号 ：TN202；TH703 文献标志码 ：A doi：10．5768／JA0201435．0101002 High—precisionphotoelectriccenteringinstrumentbasedon PSD ZHANG Xin—ting”．AN Zhi—yong (1．CollegeofOptoelectronicEngineering，ChangchunUniversityofScienceandTechnology Changchun130022，China；2．SchoolofOpticalandElectronicInformation ， ChangchunUniversityofScienceandTechnology，Changchun130012，China) Abstract：Againstthecurrentsituationofcenteringinstrumentwithlow precisionanddepend— entonthehumaneyes，aresearchmethodofhigh—precisioncenteringinstrumentbasedonpo— sition—sensitivedetector(PSD)wasputforward．Through theuseofself-collimatedoptical pathandPSD，thereturnlightspotfrom thetargetwaslocated，andthecoordinatevalueon thecomputerwasreadtojudgewhethertheaccuratelycenteringwasachieved．Thedesignof thecenteringinstrumentopticalsystem andthenonlinearcorrectionofPSD byneuralnetwork trainingwerecarriedout．Resultsshow thattcanachievethedesignrequirementofcentering accuracywithmeasuringrangeof-+-2mm～ ±500mm ，which ismuch betterthantraditional centering instruments． Keywords：opticaldesign；centeringinstrument；high-precision；positionsensitivedetector；nonlinear 引言 此，研究高精度定心方法和仪器 已成为国内外普 近代空间光学 ，微 电子学 ，生物工程和激光技