Y2O3加入量对AlN陶瓷导热率的影响.pdf

科研与应用 KEYAN YU YING YoNG 2010．07 THEINFLUENCEOFAINCERAMICS THERMALCONDUCTIVITYW HEN Y203QUANTITYADDEDTO Y2O3加入_~ AIN陶瓷导热率的影响 马雪刚 陈 颖 张庆军 崔志敏 MaXuegang；Chenying；Zhangqingjun；CuiZhimin 河北理工大学 唐山 063009 HebeiPolytechnicUniversity，Tangshan，063009 【摘 要 】将不同量、，2O。烧结助剂加入AIN纳米粉体，进行N。气氛常压烧结。实验表明，AIN陶瓷致密度随Yzo。加入量的增大而增大， Y2 烧结助剂加入量在1～3vvt％时，导热率随温度上升而上升， O。烧结助剂加入量超过4wt％l~，导热率反而下降。 【关键词 】纳米AIN；烧结助剂 ；低温烧结 【Abstract】DifferentamountofY2O3sinteringaidsaddedAINnano-powderandsintering inN2atmosphere．Testing demonstrated：ThedensityofAINceramicsincreasewiththeamountofY2O3，WhentheamountofY2O3isat1～3wt％，thermal conductivityincreasewithtemperature，whentheamountofY203isexceed4wt％，thermalconductivitydescendwiththe temperatureincrease． 【KeyWOrds1NanometerAIN；Sinteringaids；Lowtemperaturesintering 1．引言 论烧结温度下，采用较短保温时间对纳米AIN粉末进行烧结，并 氮化铝(AlN)陶瓷是近年来新材料领域的研究热点之一，它具有 研究加入不同比例单一烧结助剂YO。对AIN陶瓷导热率的影响。 高的热导率、低的介电常数和介电损耗 、可靠的电绝缘性、耐高 温、耐腐蚀、无毒、良好的力学性能以及与硅相匹配的热膨胀系 2．实验方法 数等一系列优良性能，在许多高技术领域的应用越来越广泛 。。。 然而，氮化铝属于共价化合物 ，熔点高 ，原子 自扩散系数小，纯 2．1实验原料 AfN粉末在通常的烧结温度下很难烧结致密 。采用热压和热等静 AIN粉的平均粒径小于30nm，氧的质量分数为1．O％，氮的质量 压工艺虽然可获得致密的氮化铝材料，但成本太高，因此无法得 分数大于33％，碳的质量分数为0_2％，阳离子杂质的质量分数小 到广泛的应用。采用，可以在常压下获得致密的氮化铝陶瓷材 于3X10 。Y2O。分析纯 。 料 ，但一般也需要高于1800℃的高温。为了降低生产成本，除 了降低粉末原料成本外 ，降低烧结温度也是非常重要的一环。 2-2实验过程 实验采用AIN~I]YO。粉末按质~_1：B99：1，98：2，97：3，96：4， 大量的实验表明加入适当的添加剂 (如Y20。、D O3、YF。、 95：5混合，球磨48h后于压成型为 15mm ×4mm的圆片，置于 CaF，、YLiO，等 )可促进AIN致密烧结 、降低AlN晶格的氧含 纯钨坩埚中。以15℃／min的速度升温，流动N保护 ，分别在 量，从而提高AIN陶瓷