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激光与光电子学进展
LaserOptoelectronicsProgress ⑥2O10 《中国激光 》杂志社
ZnO薄膜紫外发光强度与探测角度的关系
干 }阳
／U I
(沈 阳航空工业学院理学院，辽宁 沈阳 110136)
摘要 不 同方法制备的ZnO薄膜紫外光激射原理主要有两种 ：微谐振腔发光和随机发光测试 。测量了脉冲激光沉
积和热氧化法制备的ZnO薄膜在 同等条件下其紫外激射强度随样品探测角度 的变化 ，分析 了激射强度变化 的趋
势，证实了它们因有不同的晶体结构而具有不 同的激射原理 。脉冲激光沉积方法制备的ZnO薄膜为六角柱形蜂巢
状微 晶结构 ，其柱形边界相 当于光增强反射镜 ，形成微谐振腔 ，所 以其侧面发光强度较大 。热氧化法制备的 ZnO薄
膜为颗粒状纳米微晶，光子在颗粒 问散射 ，随机地构成一个个散射闭合 回路 ，获得光增强发射 ，由于在任意方 向均
可发光 ，因而其发光强度随探测角度 的变化相对缓慢 。
关键词 薄膜 ；紫外发光 ；探测角度 ；微谐振腔发光 ；随机发光
中图分类号 TN304 OCIS 310．6845l60．2540 文献标识码 A
Relati0nshipbetween UV Em ission Intensityand
DetectionAngleofZnO Films
WangZhaoyang
(SchoolofScience，ShenyangInstituteofAeronauticalEngineering，Shenyang，Liaoning110136，China)
Abstract TherearetwomainprinciplesofUV lightemissionofZnO thin filmsfabricated bydifferentmethods：
micro—resonantcavitylightemissionandrandom lightemission．Thevariationoftheintensityoflightemissionof
ZnO thinfilmsgrownbythetwomethodswithdetectionanglewasstudiedatthesameconditionandthevariation
tendencyoftheintensitywasalsoanalyzed．Itisprovedthattheyhavedifferentprinciplesbecauseofthedifferent
crystalstructures．ZnO thinfilmsgrownbypulsedlaserdepositionhavehexangularcolumnhoneycomblikestructure
anditscolumnbordersplay theroleoflightamplificationreflectingmirrorandform micro—resonantcavity．So the
lateralsurfacehasthestrongestlightemission．ZnO thinfilmsgrownbythermaloxidationhavegranularnanomicro—
crystalstructure and photonsare scattered through grains．Lightamplified emission occurs from the randomly
scatteredclosedpaths．Soitsintensityoflightemissionvarieswiththedetectionangleslowly．
Keywords thinfilms；UV em issi
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